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標題:
如何知道製程參數?
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作者:
kminmin1
時間:
2022-7-7 03:03 PM
標題:
如何知道製程參數?
想請問各位大大
我使用的製程是UMC18
' @9 f& w& a8 M8 O: [5 N, j- \
4 X8 H" a2 G2 D& ^ ?
要如何知道製程的參數?
, o* J8 Y6 z7 K# Y) i% o7 F) {1 `+ A7 G
如:Va ,
λ ,uncox等等...
0 C! ~! |# H" t1 ?" D& U S5 R& I
有試過手算，
但發現同長度的PMOS在不同電流下(飽和區)，
λ值卻不同
3 b4 ]6 L& u9 S3 O
ro=1/gds
8 a" J% @8 M7 [" t! x3 X& z5 a3 i
ro=1/
λ*idsat
9 @/ B j! f* W( s" Z% B/ ^ O( ~
λ=1/va*L
. |3 ?9 S( [6 X4 ~ t+ F! C
# `' ?7 p6 q* J, o3 C8 L
例:
5 c6 t7 c2 ?5 v6 V
PMOS(saturation)
PMOS(saturation)
$ _. Q d `( Y; f* i i. @
W=25u L=0.5u W=25u L=0.5u
$ q7 ]# w1 u# x( C' D
id -8.907e-05 -8.588e-05
! g1 h( R3 ]1 I" y8 M K
gds 7.941e-06 5.289e-06
~& Q& o- B4 l
- R2 j& j* W4 g/ S' A
算出後:
: C2 U1 u. d4 q- A# k+ X
λ 0.089 0.061
: H g$ j7 w0 ^/ ?& |' p; C
! S1 l& C+ I9 [! Z3 l
6 }) y% g& x- S& _2 q
看有些論文寫說
λ是工藝給定的
8 @2 S* F, z7 r; e5 P n
哪一些製程參數是固定的?還是都是非固定呢?
1 O# j R" J V* ]# O- @- q: f
, m1 f' ~5 p3 O2 J8 o
作者:
YMCK
時間:
2022-7-7 06:19 PM
沒有辦法知道一個確定的值吧
7 j- v/ r8 p" c' j7 c
只能先用製程檔提供的初始值下去估計
* u$ E1 A# E, m5 z3 t! X% }
然後再看模擬跑出來的結果下去調整
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