Chip123 科技應用創新平台
標題:
TI利用創新材料降低晶片漏電 實現45奈米及更高階精密製程
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作者:
jiming
時間:
2007-6-21 02:27 PM
標題:
TI利用創新材料降低晶片漏電 實現45奈米及更高階精密製程
高介電係數材料 在不影響其他重要參數前提下將漏電減至最少
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(台北訊,2007年6月21日) 德州儀器 (TI) 宣佈將把高介電係數 (high-k) 材料整合到TI最先進和高效能的45奈米晶片電晶體製程。隨著電晶體體積不斷縮小,半導體元件的漏電問題日益嚴重,業界多年來一直研究如何利用高介電係數材料解決這個難題。相較於目前使用廣泛的二氧化矽 (SiO2) 閘極介電材料,TI將透過新材料把單位面積的漏電降低30倍以上。TI的高介電係數材料還提供相容性、可靠性和擴展性等優點,協助TI利用45和32奈米製程繼續提供高產量、高效能和低耗電的半導體解決方案。
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TI在先進鉿材料的研發時間已超過10年,相信高介電材料能解決數位CMOS元件持續微縮和轉移到更精密製程時所遇到的各種技術問題。TI將把高介電材料應用於45奈米製程,進而實現高效能、低耗電和低成本產品的客戶承諾。
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TI的45奈米製程
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TI於2006年6月公佈45奈米製程細節,該製程透過193奈米浸潤式微影 (immersion lithography) 技術將每片晶圓的產出加倍。TI還將透過多項技術把系統單晶片處理器的效能提高三成,耗電量則減少四成。TI預計在2007年供應45奈米無線元件的樣品晶片,並於2008年中量產。TI隨後還會將高介電係數材料導入45奈米製程,以便生產最高效能的產品。
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目前已有數種45奈米製程得以滿足客戶獨特的產品需求,TI同時提供多種製程以便發展最具彈性和最佳化的設計。其中包含的低耗電製程,不僅能延長可攜式產品電池壽命,更可為高整合系統單晶片設計的先進多媒體功能提供所需效能。中階製程則支援通訊基礎設施產品的TI DSP和高效能ASIC元件庫。還有最高效能的45奈米製程,不僅提供微處理器等級效能,而且將是最先整合高介電係數材料的製程。
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HfSiON技術概要
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TI利用化學氣相沉積製程 (CVD) 來沉積矽酸鉿氧化合物 (HfSiO),接著再與下游氮電漿 (downstream nitrogen plasma) 反應形成氮氧矽鉿化合物 (HfSiON)。雖然業界已知鉿介電材料能減少半導體元件的漏電現象,但其應用卻面臨許多技術障礙。這些問題包括與標準CMOS製程的電氣相容度,以及如何在載子遷移率 (carrier mobility) 和臨界電壓穩定性等方面達到現有SiO2閘極介電材料的水準。儘管如此,TI仍能透過氮化物化學氣相沉積技術 (nitrided CVD) 解決漏電問題,同時讓多個重要參數如SiO2閘極介電材料一樣達到客戶期望,完全不受新製程技術的影響。相較以SiO2為基礎的其他材料,TI做法可大幅減少半導體元件的漏電現象。
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CVD HfSiON薄膜氮化還可讓製程具備良好的擴展性,滿足從45到32奈米的效能、耗電和閘極長度要求。TI透過模組化方式把HfSiON材料導入典型CMOS閘極層疊製程,結果證明整合HfSiON後的遷移率可達到矽氧化物典型遷移率曲線的90%,有效氧化物厚度小於1奈米,而且不會影響CMOS製程的可靠性或大幅增加成本。HfSiON還能精準調整薄膜的組成物,同時提供準確控制能力和高產出,因此特別適合量產應用。
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TI研究領域包括HfSiON閘極介電薄膜的組成物、製程最佳化與特性分析。另外,TI在相關領域的發展策略也與其45奈米金屬閘極製程策略一致。
作者:
chip123
時間:
2008-9-12 04:00 PM
標題:
TI 成立 Kilby Labs 致力提供突破性半導體技術
新成立的創新中心將延續
Jack Kilby
的研發成就
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(台北訊,
2008
年
9
月
12
日)德州儀器
(TI)
今日宣佈成立
Kilby
實驗室
(Kilby Labs)
,以致力研發突破性半導體技術的創新知識。這個新的實驗室於積體電路問世
50
週年當天成立,並將延續
Jack Kilby
發明晶片改變人類生活方式的精神與成就。
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Kilby Labs
將座落
於
TI
的達拉斯北分區,設立這個實驗室的構想來自早期的
TI
實驗室。也就是當年
Kilby
設計出首顆晶片,並從此開啟通往
3G
手機、可攜式超音波設備與汽車防鎖死煞車器系統等科技的起源地。這個新成立的單位將集結大學院校研究人員與頂尖的
TI
工程師,共同探索半導體技術改變人類生活的可能性。無論是研發新的技術讓行動醫療保健更具體、運用新的能源、或開發更節能的車輛,
Kilby Labs
的研究人員都將專注於研發影響深遠的先進晶片。
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9 f, h: u3 a# L. E m Q: ~
在
TI
北分區半導體大樓的慶祝落成儀式中,
TI
總裁暨執行長
Rich Templeton
表示,
TI
相信,對人類生活產生重大影響的技術,便是
TI
努力開發的目標。讓世界更健康、安全、環保且充滿娛樂的信念驅使
TI
投入晶片創新,也是促使
TI
工作人員每天工作的動力。而同樣也是這股動力,激發
Jack Kilby
發明第一顆
IC
,並透過他的理念和發明改變這個世界。
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, {( a6 M# H+ j5 ~; \
TI
資深副總裁暨專案執行負責人
Gregg Lowe
表示,
TI
期許
Kilby Labs
能結合
TI
晶片技術開發的經驗與對於戶需求的瞭解,以及新一代創新開發人員的夢想。技術源自於夢想,
TI
希望能建立更好的環境,讓人們能夠想像並構築更美好的世界。
TI
認為,紀念
Jack Kilby
成就最好的方式,就是讓大家有機會以
Kilby
的成果為基礎,利用新技術讓微小的晶片大幅改善人類的生活。
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, N7 n9 L% F( }& X& r) X
此外,
TI
任命
Ajith Amerasekera
擔任
Kilby Labs
總監,
Ajith Amerasekera
是
TI
的傑出
科學家,於
1991
年加入
TI
,擁有電機工程與物理博士學位,並曾擔任
TI
特定應用
IC
部門技術長,擁有
28
項專利,著有
4
本半導體書籍,並於國際技術社群中享有相當聲譽。
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除了新成立的
Kilby Labs
之外,
TI
也以各種活動紀念
Jack Kilby
的生平與事蹟,並呈現他對工程世界的獨特願景,以及透過攝影展現他的無限創意:
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- |3 i" X& z# x0 a
·
Meadows
博物館
(
於達拉斯
Southern Methodist
大學
)
:
Jack Kilby
:天才慧眼
–
微晶片發明家攝影展,
將展出至
9
月
21
日。此次展出的內容包括
Kilby
的攝影作品、記載積體電路草圖與概念的早期筆記本、獲頒的諾貝爾物理獎、全球第一顆微晶片,以及第一個手持計算機。
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6 Q2 Q" @, W% w( P, m* Z
·
達拉斯自然科學博物館:
小型微晶片展覽將展出至
10
月
19
日,展出的內容包括與現今外型不同的
TI
珍藏品,並有影片放映。
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5 u4 A5 f5 [* y/ ?6 h0 T& W
·
德州儀器總部:
原址重建
Kilby
當年工作與發明第一顆
IC
的早期實驗室。此重建的實驗室將激勵日後的發明家,並展現科學、高科技與創意結合而產生的龐大力量。
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·
堪薩斯州
Great Bend
:
TI
將捐贈
Jack Kilby
雕像至其故鄉堪薩斯州
Great Bend
。
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有關
Jack Kilby
發明積體電路
50
週年的詳細資訊,請造訪
www.ti.com/tichip
。
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