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[問題求助] poly fuse 的問題

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1#
發表於 2007-7-8 23:07:08 | 顯示全部樓層
poly fuse ..." `- V4 b* e% p8 A( O' \0 h
我看到的fuse 很少有用poly fuse4 u7 J" m1 J* }
通常是用metal fuse...
' Y$ F' v3 Q- D8 U# p' e! d! M6 j' A我以前看過有使用poly fuse- ?9 T' ?: L3 `9 i/ t
1.因為 process 是 0.6um 所以電流較大(about 350mA)# L9 J# o" j( w8 k$ d
大部分的fuse 都燒斷了,但是還是有一些無法燒斷
, e, k" ~! y% t7 D5 p6 |8 Q3 r6 A有用顯微鏡看(0.6 um 還可以看啦)
" \. [4 N4 W/ y( w4 P發現到燒斷的地方形成一個節球,又短路在一起了( M8 @& w$ \3 C0 v
才發現到layout 的形狀也是蠻重要的. M( |( S( ]6 u4 z2 G
最好要有轉角(電流集中). ^4 X% f( r! B
2.fuse 的地方通常會開window9 v- e1 U% w3 D" X+ P
......結果......水氣跑進去,原來燒斷的地方又短路了???( [1 S+ l4 p% P
目前解決的方法是,封裝前要烘乾一次........' g; e8 F6 V- t$ P

; W5 t0 O! \% Q1 E7 L& a以上是實際的經歷,僅共參考

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參與人數 2 +6 收起 理由
skyboy + 3 很有用的經驗, 感謝分享..
mt7344 + 3 Good answer!

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2#
發表於 2007-7-12 20:40:26 | 顯示全部樓層
1.關於poly fuse 的方面,其實我們公司已經放棄此做法
5 Y3 D7 @, o$ P: S: }' {2 ^   由於不是直接使用pad dirver , 是built-in buffer(nmos)
! p% \) K8 z3 }. G& B  ]   算起來還真的是不划算說,由於並沒有量產所以良率並不是很準確
- u' `+ j; J7 U+ M6 w1 W   但是工程樣品的數據大約 80% .
4 P! [  Y. o1 Z. @1 `% X' U9 O2 y
0 W- E9 p: i7 I8 }7 v" i& D2.metal fuse 的方面,目前的測試數據還算不錯,隨便都燒的斷
$ f5 b5 {8 m! u3 c, E   不過要注意layout , 多個轉角比較容易燒斷,也不容易熔回去
- z8 v1 H; \& J) _/ i9 a" C. H8 \. v2 J# M- ?# U
3.關於開window 的部分,也不知道是誰建議的(好像是fab. 的人): L2 W6 M" E/ B, G' b. o4 Y7 Q
   水氣就是會累積啊,真是XXX,害我drc 跑個半死....1 b% t2 A$ S% J% S5 T+ g' R1 C. x

. {9 g8 }! \) [6 b4 m1 y, w4.其實我看過atmel ir demodulator fuse 的做法,提出來僅供參考
) I7 K& v" P) T" ?; C" n   它也是使用metal fuse ,也有開window ,但是.......
+ L" P3 z) s8 h2 F   它是pad direct driver , 居然把fuse pad 擺到切割道上,還比一般的
2 _; n6 [3 w5 z   pad (90X90)還小,(70X70)啦,(測試針頭可以容許較小的誤差),, _: ~1 N7 b/ I' L" Z; x0 a
   面積當然省啦.....- d9 E! Z2 Q3 b/ e( b
   由於不會受限於buffer ,所以metal fuse 阻抗可以大一點,就是可以
. b# Y4 u' o# h/ Z7 l& Y4 C   長一點啦,yield 當然好啊 ,像我們跟fab. 沒有那麼深厚的交情,不給8 d: ?% s: _, r4 b3 L8 T
   我們這樣做, 真是差很多說.......可以試著凹凹看....

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參與人數 5感謝 +2 Chipcoin +5 +11 收起 理由
sam7186 + 2 感謝經驗分享
ssejack1 + 5 感謝經驗分享
skyboy + 3 實用的經驗分享, 可以嘗試..
mt7344 + 3 大大感謝啦!
sjhor + 5 感謝經驗分享!

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