poly同軸性的問題

yhchang

我的感覺是盡量不要這樣做
: T1 m+ v; g( X" C8 n" \8 K" Y因為製程不可能做得很均勻  大致上呈現一個梯度的分佈
1 ?+ _" |' b# i0 J: y( \所以做到同軸心的話 可以避掉 gradient type的 Variation
! z2 {. }" w- t* p但是 random的誤差還是避不掉 要降低除非你用面積去換