[問題求助] Al process 和Cu process的比较请教

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發表於 2010-4-29 21:45:49 | 顯示全部樓層

我没有用过CU工艺，我有些不理解关于max metal density

我们平时只关注AL的min metal density。。。。我理解对于越高的metal density平坦度越高啊。。。请教怎么考虑的。。。。什么是dishing。。。

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