如何選擇ESD Device Contact Type？

sendow

這個問題也困擾我很久, 不知有前輩可以解答嗎?
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個人經驗, 有些製程有效, 不過可能要考慮parasitic path,
8 l+ X; n6 u1 s$ K5 ^" k有些製程則使用contact matrix即可, 還有要考慮processs能力,
有些製程slit contact可能form不好, 造成ESD robustness unstable,
4 k& N/ p: O: t! n( p3 i, U這也是現實上要考量的.

一般而言如要高效能ESD ability還是選用ESD circuit來保護比較safe
5 L" `& T2 T) ?3 S) y1 W( ]不過有專利問題,這方面可能又要取捨了.