SEMICON Taiwan 2013國際半導體展 蓄勢待發

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Edwards公司將在SEMICON® Taiwan 2013 展示業界領先的真空解決方案和尾氣處理系統
對環境影響減到最低的能源效率和降低整體成本 是Edwards這次參展的主題

英國西薩克斯郡克勞雷 (二○一三年九月四日) ─ Edwards集團公司 (NASDAQ納斯達克股票代號: EVAC)是精密真空產品及尾氣處理系統領導製造商和相關增值服務全球供應商於SEMICON Taiwan國際半導體展覽上展出一系列高性能真空泵浦產品，包括專為在Applied Materials平台上使用而設計的新型iPUP2™。

在台北舉辦的SEMICON® Taiwan 是台灣半導體產業的重要展覽會，匯聚了全球最大的資本設備製造商，一起打造半導體、奈米電子、MEMS 以及太陽能領域的設計和製造未來。Edwards的乾式泵浦和尾氣處理系統獲得世界領先的台灣晶圓廠及相關產業廣泛採用，至今已經安裝超過22,000台乾式和渦輪分子泵浦，以及3,000組尾氣處理系統。

Edwards 公司半導體及新興技術事業部副總裁 Mike Allison表示：「Edwards在台灣半導體產業取得了優秀的業績，我們為客戶提供業界領先的真空和尾氣處理技術、性能和效率，協助台灣的晶圓製造產業領導全球；同時我們的系統也為台灣正蓬勃發展中的平面顯示器(FPD)、固態照明(SSL)以及太陽能等產業提供顯著的競爭優勢。雖然全球半導體產業正面臨困難時期，但台灣仍然持續穩固地策略性成長。真空技術和尾氣處理系統對於半導體製造業絕對是重要且關鍵的，而Edwards對於身為台灣產業成功故事中的一份子感到非常高興。」

能源效率是整個產業的一個重要目標，Edward的泵浦經過特別設計，能協助達到節能減碳，並降低整體擁有成本(total cost of ownership, TCO)和對環境的影響。例如，在SEMICON Taiwan展覽會上，Edwards將展示iXL 120小型輕便泵浦，適用於在製程室快速抽真空及淨化應用，在節能模式操作下，降低多達95%功耗。

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Edwards 在SEMICON Taiwan 展出的產品還包括：

•        第二代iPUP2是專為在Applied Materials製造平台上執行承載室及輸送腔體應用的泵浦，在承載室的泵浦停機時間、能源消耗和維護條件上具有顯著的優勢，提供最佳的性能和低整體成本。該泵浦已經取得了早期的成功，取得幾項新的Applied Materials平台資格，並且對主要半導體製造商的首次出貨量已超過180個系統。
•        同樣地，iXL1000是為電介質刻蝕及輕型應用所設計的乾式真空泵浦，相較於非常成功的同等級iGX/GX系列乾式泵浦，它能再有效降低多達33%的耗電量。
•        iXH 6050和iXH 1820乾式泵浦能以高效率和經濟性的方式符合半導體、平面顯示器、太陽能和LED等產業在生產製造上的嚴苛需求。
•        此外，Edwards也將展出在單一小型系統中整合了真空和尾氣技術的EZENITH產品線。

Edwards加入F450C聯盟

今年七月，Edwards加入了一個由全球十家半導體設備公司組成、旨在組建450mm晶圓製造設備聯盟 (F450C) 的工作組，該工作組是450聯盟(G450C) 的一個分組，目的是解決下一代450mm半導體晶圓製造設施的複雜開發和基礎設施要求。

Allison指出：「這個全球性產業的領導者如今都在計畫跨入450mm晶圓製造，台灣將在此過程中扮演重要角色。台灣要在全球半導體產業內持續成長，跨入450mm晶圓製造是關鍵的一步，而且我們也希望台灣的合作夥伴和朋友們瞭解，Edwards的參與深在其中。事實上，Edwards是聯盟中唯一一家代表真空和尾氣處理設備的公司，再次體現了我們領先業界的技術，以及在半導體產業中擁有的長期經驗和技術。」

要了解Edwards 的真空及尾氣解決方案如何為您帶來競爭優勢，歡迎於9月4日到6日期間親臨SEMICON Taiwan世貿南港展覽館的 Edwards展位544號參觀。