需要加 DUMMY 的時機是?

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需要加 DUMMY 的時機是在何時呢?

vincent_p0593

一般 metal dummy 是為製程考量, 尤其是窄線寬metal, 若沒有dummy metal 護著 CMP 容易over-polishing 而斷線, 蝕刻時容易因為 local etch rate 高而斷線. 黃光曝光時也會有bias
  _. j" }4 P. R" `7 V
poly 也一樣, 但是加 poly dummy 時要注意是否允許 floating gate 及antenna rule, floating gate可能會使下方 Si 反轉導通, 引起周圍元件leakage. 若不allow floating gate, 還要想辦法把poly 接到ground or Vss.

motofatfat

看你的DUMMY指瞎密
- |& B0 b+ s; n; x& @大部分是要match
" j% O) }5 S# k3 o" h- t% `4 {Metal poly  density  不夠
7 p, K$ Z# u) X加ㄉ那些也較 DUMMY
+ p& R, @1 E8 {3 j把POLY 當電阻 ㄉ R_DUMMY  也叫DUMMY

372412

回復 2# motofatfat
" s  N6 N' Z0 a1 u* I3 `+ q

2 Y2 C  U# Q  h% X5 r6 G* n    感謝樓上的大大
+ o7 U; t. q. [% ]3 `7 [   我所指的是 MOS、R、C 的 dummy

zhifj86

2楼说得没错吧，一般就是匹配啦，要求精度啦

chaojixin

楼上讲的好详细啊，菜鸟拜读路过………………我一直只在考虑match时才用dummy的………………

levimax520

原來不同的元件也需要用到DUMMY阿

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回復 5# vincent_p0593


    感謝您回覆的這麼的詳細
: D) E8 f. A/ J9 |$ N您真強

bernie820

某樓說的很對!!
4 M2 M* H- v8 P7 L* W
不過簡單來說
在製程時食刻會破壞掉你的元件
而特性就被損壞
' z% F7 k6 W( `$ }* i  }
若利用dummy來做犧牲<反正他對電路沒啥用處>
所以蝕刻吃他最多
主要部份特性就不會被破壞
( H. R& K, U$ J
0 ~7 G2 ?4 Y3 Y, y很多的ic design 或layout講座都會提到這一點<必定提到>
所以可以多找網路資料也有

xuguishuang

5楼分析的蛮详细的。。。。。

u9513349

感謝大大的分享
, S! D) R6 J, @; n, o. o( P' T
又學到一個知識了!!!

鋒鋒

op的差動輸入我是一定會加
$ x' e7 |, u- b9 r: X: m還有電容也要加
若有空間能加的都加也無彷

semico_ljj

“還有電容也要加”，这倒不一定！普通的补偿电容不用的

u9513349

thxs for your shows!!!

and i love it!!!

chone1205

通常會加DMY 都是需要做對稱MOS 或是需要精準的電阻 電容

chaojixin

5#NB！好人啊，讲那么详细！

pph_cq

一般 metal dummy 是為製程考量, 尤其是窄線寬metal, 若沒有dummy metal 護著 CMP 容易over-polishing 而斷 ...
& [. f0 o! B( w9 fvincent_p0593 發表於 2010-4-30 09:45 AM

' z: M  m+ X, l" ^8 ]8 X
1 g; f! ?) {6 j" f( q' b
    是不是意味着窄线跟宽metal之间要特别注意加上dummy metal呢？

GU

想問一下 dummy metal 是什麼東西??

  c2 B8 O' e* d0 I% m' ~如果MOS DUMMY 是為了補空缺的位置 這樣好嗎??

數位電路 加MOS　DUMMY 是否很浪費呢??

chone1205

加DMUUY 是保護match 在蝕刻上為了環境都一樣嚕

吳龢峻

dummy device 也可當 redundant backup devices.