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[問題求助] e-fuse?

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1#
發表於 2007-8-22 16:35:22 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
最近常聽到 efuse! 所以想問一下有試用過的人!!- n" {2 n+ {# X5 K8 j9 g; O2 ?
其原理和優缺點是什麼唷?3 @, H, p# K$ q+ b" b) L
一個好奇的人想要知道唷!!+ [( A/ f/ u( s3 R

' h7 j3 \+ ?9 G) Q% t以下是 Fuse & Trim 的相關討論:- g% q( ~% u: |
poly fuse 的問題 - z5 k* J% i6 _
poly fuse 大約多少能量便可以燒斷?
. d6 r5 _3 b. e8 `如何判断poly fuse 已经blown  6 @7 c, y! u5 ]1 R) a% m# u9 p5 r
有關poly FUSE的不錯paper給大家參考  
3 C; Z. r; Z, H* Y% Z% BLaser Trim   _1 u8 y: H/ j! l
做完laser trim後內部的電路被打傷的情況嗎?  " \; k% s2 s9 I
Trimming method?   2 \, R5 v: V9 K5 L# z
Current Sensing Resistor Trimming!!   6 Z8 L$ K# \9 `; S/ o3 \% L) s
请教做laser trim的注意事项  * _( I0 s2 D6 O* h# Z2 R
Current trimming 要如何做呢?  9 y7 Y5 z1 T  i# M0 X

( k( f) ]% M8 v: I% ]; q( l/ l  p( q8 J6 ]+ r, d  D  \0 n8 L

3 p" u( n7 B- j4 _; b8 }. m; }% y
[ 本帖最後由 sjhor 於 2009-3-17 06:40 PM 編輯 ]

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monkeybad + 3 有什麼問題大家一起討論啦

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2#
發表於 2007-8-24 00:12:49 | 只看該作者
這是在網路上找到有關e-fuse的解釋:
6 D. y( T& s$ Y7 J( m0 AA method of using an e-fuse device is provided. The e-fuse device includes a poly-fuse having one end connected to a source/drain region of a MOS transistor and the other end biased to a voltage (VFS). In operation, a gate of the MOS transistor receives a step waveform pulse signal. The step waveform pulse signal encompasses a pre-heat voltage (Vp) at a first level during time period (T1-Tp) and a maximum input voltage (VIH) at a second level during time period (Tp-T2). The pre-heat voltage (Vp) is smaller than the maximum input voltage (VIH). The step waveform pulse signal is confined to a minimum input voltage (VIL) before T1 and after T2. Preferably, the time period (T1-Tp) is longer than 5 μs.
9 t, b$ X0 O+ @5 ^; ~% e8 ^8 ^; U( G0 M/ z4 T' ]/ M
個人經驗:. \! X! m  T. ^: H! y# q4 s
原理就如上面所提,它算是一種類似保險絲的被動元件,可以由外部來設定為"1"或者為"0",而設定的動作在我們拿到wafer且經過初步量測後即可作設定的動作,再者,它只能用一次,設定後便不能再更動- Q3 w! j& A! E
不過,要用e-fuse要看製程廠本身有沒有提供這種元件,如果製程廠沒有這種元件的話,那就無法使用,只能使用變通的方式,如metal option4 ]# G3 }7 @/ y( l9 O$ r

) M/ V# m) u' ^6 T/ y& V* ]" _e-fuse的應用還蠻廣的,舉個例來說,我曾作過一個2.8V ~ 12V的LDO,它的輸出電壓可以由外部電阻串接變化型的,如輸出電壓由1.8V ~ 11V由客戶自行搭配組合使用,也可以是直接由內部控制固定電壓輸出型,如固輸出1.8V,2.5V,3.3V等電壓,以應用來說,它是四種不同應用的電路,但以公司成本考量而言,它希望電路只有一套就要能夠符合上述的所有組合
6 g! A) q5 t1 T% R: V所以,我就必需設計出可以符合上述所有變化的電路,而不同的組合變化就由e-fuse來設定,如果今天要出可以由客戶自行搭配的LDO,那就燒掉其中一個e-fuse,如果今天要出固定1.8V輸出電壓的LDO,那就燒掉另外一條e-fuse,依據不同組合燒掉不同的e-fuse
0 F4 D: m1 U; a- _8 p- `/ A- u4 L如此一來,GDS只有一種,光罩也只有一種,電路組合與應用卻是好幾種,而這就是e-fuse的優點所在,以最少的成本卻能夠得到很多種的組合變化

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monkeybad + 3 Good answer!
sjhor + 3 不錯!回答的相當好!!讓我長知識!!

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3#
 樓主| 發表於 2007-8-24 09:32:49 | 只看該作者
這邊有一篇IBM介紹 efuse 的文章 相當不錯/ V; W2 H  e9 H) j) u
0 f1 K- w5 l& s" z$ G
介紹給大家唷!!
3 V: _1 H6 n9 u4 C& _& q2 i9 O& l, }9 ^; N8 O% d' q
[ 本帖最後由 sjhor 於 2007-11-19 09:37 AM 編輯 ]

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x
4#
發表於 2007-8-30 04:35:09 | 只看該作者
大大的解釋說明,好詳盡。+ v- [8 Y7 U6 N9 v1 J& m# {4 v- x
但e-fuse主要還是用在客製化的產品和需要驗證的產品。. Y* g% D1 H+ b* R, d6 r4 H
若將e-fuse常用於產品中,會增加die size的成本。
5#
 樓主| 發表於 2007-8-30 09:21:07 | 只看該作者

回復 #4 JohnsonLLL 的帖子

我想 e fuse 的好壞需要與傳統的 fuse 來比較!!( m, A) u2 g1 a  W
傳統的 laser fuse & current trim fuse 在網上已經有相當多篇的討論了!!  {! F, D/ e3 i) ?5 I
laser fuse 其 chip size 增加較小  但是要用 laser trimming 的機台  這也需要費用 還有 laser repair rate 的問題。
, t3 V5 [7 m3 nCurrent Trimming 也會增加相當多的 chip szie 也是會增加相當多的成本!!
9 l8 ?, d  S: E0 Q- G) j/ _* N, c' N( W5 C* x0 N
目前比較不了解的是 e-fuse 是不是有比較佳的成果!!
6#
發表於 2007-11-17 17:21:50 | 只看該作者
請問我已經付完了~~為什麼也不能Download呀 ? . Z. {8 W0 I( P0 d) ?# I+ p6 r
請您寄至小弟的mail可以嗎 ?0 N4 k$ p. {, h$ H5 N
antigm@pchome.com.tw0 f7 B: x* a8 h# U1 `) q& [
謝謝~~
: b: \2 R0 C: X7 m( _$ u- h4 S' H+ C- I
原來權限=20,現在成10了。3 X2 ]! v0 N( x9 E
( I8 ~, V0 A2 u& p) r8 W% B
[ 本帖最後由 sjhor 於 2007-11-19 09:40 AM 編輯 ]

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sjhor + 1 全線已經改為10!應該可以下載了!!

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7#
發表於 2007-11-19 16:09:51 | 只看該作者
goods, thanks a lot, I like it so much...
8#
發表於 2007-11-20 01:11:03 | 只看該作者
推  
. k  ?6 ^0 p8 @6 }9 z& [好文章  就是要拿出來大家分享
; H2 z' R/ Z" d; @' O這樣台灣的rd才會變強
9#
發表於 2007-11-20 14:02:51 | 只看該作者
不错的技术讨论,也想增长一下fuse方面的经验,谢谢各位不吝赐教.
10#
發表於 2008-1-12 01:41:29 | 只看該作者

回復 1# 的帖子

一般的fuse 是由一條條的 Metal 電阻或是其他種類的電阻所構成的邏輯電路) Q) d% l! c3 h$ }# B
當CHIP Power up之後, fuse ckt的output會被keep在 high ; O& B& m8 @) q( I6 l6 q& E8 d
直到你需要去 trim timing或者是 voltage的時候 把相應的fuse用 Laser打掉% b3 O+ n( i( P
讓 原本輸出為 High 改變為 Low準位  從而改變 timing或是 voltage
' |/ m5 b7 C- c9 @. v* W% G  q4 V# @# \
但一般來說這種作法 需要測試工程師在機台上去打, 如果 貨交到客戶上才發現
3 J3 z0 c1 F' ], ~; i! r) K: V4 utiming或內部電壓需要調  甚至是有 ARRAY CKT Cell fail時  (這是惡夢!!)
/ E, V+ v1 r! [! d+ B8 [1 U. H這時候你如果有 e-fuse 電路   就可以用  高電壓來取代 Laser
6 `5 e, i) P$ M3 `9 `9 B" O  t# `把 fuse 燒斷, 達到你想修補 fail Cell, 或者是 trim timing 及電壓的目的4 Q5 N- L. C3 y) E6 m- z4 S& t. z
$ E/ e9 b$ |$ G# n- D4 e7 x  V  [
但是一個e-fuse電路 相對於一個一般的fuse電路來說 面積會大很多. o6 {( o3 S9 T0 ]5 ]. K+ Z3 K
基於殺雞不可以用牛刀的前提下,  e-fuse電路必須要用在刀口上才行

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sjhor + 3 Good answer!

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11#
發表於 2008-1-16 09:40:27 | 只看該作者
就我的認知,e-fuse只是一個有別於傳統laser trim之方法的簡稱
& I/ ~, E4 ]  j/ K實現的方法有許多種
" q& t2 s$ W. u9 W1. 採用trim pad : 利用大電流燒斷metal / poly 作為 0/1 的信號% E" m" F8 [  z! N5 J
2. 採用EPROM/OTP(含1P OTP)/FLASH/EEPROM 等元件當作是 0/1 的信號! h- U0 ~+ Z+ E0 z
    在power on時讀取data,力旺的IP即是以1P OTP當e-fuse

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12#
發表於 2008-1-23 10:42:18 | 只看該作者
It's wondful,I'm intersting it
13#
發表於 2008-1-24 13:06:22 | 只看該作者
感谢感谢,找很久了...................................
14#
發表於 2008-1-30 11:08:29 | 只看該作者
e-Fuse在實際的產品應用上,其實是利用高壓在測試階段將所需的狀態改變,利用高壓將資料寫入。& V2 Q; X: V5 A, b; R0 c
Pros:& S5 {& k3 m( p$ I1 ~' y1 K
1. 不需在FAB改變Metal層, 方便使用
3 c( `3 g0 Q/ w0 I2. 可提供一些model差異化,不需用bonding package去做
% T9 O* r; |1 v( E; Y3. IP容易取得$ h7 y# f5 W- F6 |) \

4 O2 \! [0 ^* b% x5 T& kCons:4 N& a( u7 H4 l  k$ @- y  W  T
1. 只能寫一次,不能再改變
: L6 u2 X8 o% R+ M5 R4 `2. 牽涉到高壓方面,有可能影響良率
$ R7 m1 g- _1 ~. q6 ~; V, S/ m' ^( K) I, a7 J" v8 I
其他技術方面,爬爬上文解釋得非常清楚。
15#
發表於 2008-7-28 08:44:36 | 只看該作者
最近才開始工作,2 ?# x5 A* }3 t+ I
一堆新東西都是當初在學校裡完全沒有看過的
& b- a5 c, D6 Y3 I( h現在手上又開始要做新產品的design review
& e: }' x/ x" K6 ]偏生這些東西是什麼鳥都還不知道
& n( M- j/ B: |/ `) d剛好看到這東西+ G' r" I9 J5 ?
一整個大感謝
16#
發表於 2008-7-30 21:35:13 | 只看該作者
非常感謝大大提供這麼好的資料感恩啊 ~~
" A' |% p9 b2 P0 C謝謝啦
17#
發表於 2009-6-22 15:30:22 | 只看該作者
正在做这方面的,看到的都是传统的fuse,看看这个e-fuse∼
18#
發表於 2009-7-9 11:44:07 | 只看該作者
最近也在做相關的工作,看到了很 metal fuse 燒不斷不現象,正好來這邊學習前人的經驗!
19#
發表於 2009-10-1 09:45:17 | 只看該作者
各位大大....謝謝啦....我最近一直在找相關資料
20#
發表於 2009-10-27 00:15:51 | 只看該作者
感謝分享阿 原來fuse還有這麼多種 真是非常感謝各位大大的無私奉獻
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