e-fuse?

sjhor

最近常聽到 efuse! 所以想問一下有試用過的人!!
5 v9 y- ^1 x7 D( V# k; x6 s# e6 }" c; F其原理和優缺點是什麼唷?
# _" L- P& T& M一個好奇的人想要知道唷!!
+ B1 A2 A- a5 C) V- u/ |% x
# ~* [( f3 Z5 q& J以下是 Fuse & Trim 的相關討論:
poly fuse 的問題
6 n' ]: \2 g. a3 m' Bpoly fuse 大約多少能量便可以燒斷?
9 O- k# B0 Q' n如何判断poly fuse 已经blown  
有關poly FUSE的不錯paper給大家參考  
$ }$ |' b6 O( p8 d2 A9 |Laser Trim
做完laser trim後內部的電路被打傷的情況嗎？  
% c9 F* ~& Q  O7 Y3 \: E2 oTrimming method?   
% |* f5 Q7 Z" I7 _) n0 K* ~3 SCurrent Sensing Resistor Trimming!!   
# z6 a1 ]+ {. H( X. w7 I6 x请教做laser trim的注意事项  
Current trimming 要如何做呢?  


3 o& d. B: O: Q0 Q  H5 K( r, `

( \* M( r, j3 N$ I4 c' v* \1 S4 i[ 本帖最後由 sjhor 於 2009-3-17 06:40 PM 編輯 ]

finster

這是在網路上找到有關e-fuse的解釋:
A method of using an e-fuse device is provided. The e-fuse device includes a poly-fuse having one end connected to a source/drain region of a MOS transistor and the other end biased to a voltage (VFS). In operation, a gate of the MOS transistor receives a step waveform pulse signal. The step waveform pulse signal encompasses a pre-heat voltage (Vp) at a first level during time period (T1-Tp) and a maximum input voltage (VIH) at a second level during time period (Tp-T2). The pre-heat voltage (Vp) is smaller than the maximum input voltage (VIH). The step waveform pulse signal is confined to a minimum input voltage (VIL) before T1 and after T2. Preferably, the time period (T1-Tp) is longer than 5 μs.

$ [% }5 C$ k! j; z8 |個人經驗:
6 F7 r, k/ c9 ^! p5 ?* M% I原理就如上面所提,它算是一種類似保險絲的被動元件,可以由外部來設定為"1"或者為"0",而設定的動作在我們拿到wafer且經過初步量測後即可作設定的動作,再者,它只能用一次,設定後便不能再更動
不過,要用e-fuse要看製程廠本身有沒有提供這種元件,如果製程廠沒有這種元件的話,那就無法使用,只能使用變通的方式,如metal option
4 y  J/ n3 @+ I& c5 _$ ~
, J2 A* \$ Q3 Y* B4 de-fuse的應用還蠻廣的,舉個例來說,我曾作過一個2.8V ~ 12V的LDO,它的輸出電壓可以由外部電阻串接變化型的,如輸出電壓由1.8V ~ 11V由客戶自行搭配組合使用,也可以是直接由內部控制固定電壓輸出型,如固輸出1.8V,2.5V,3.3V等電壓,以應用來說,它是四種不同應用的電路,但以公司成本考量而言,它希望電路只有一套就要能夠符合上述的所有組合
所以,我就必需設計出可以符合上述所有變化的電路,而不同的組合變化就由e-fuse來設定,如果今天要出可以由客戶自行搭配的LDO,那就燒掉其中一個e-fuse,如果今天要出固定1.8V輸出電壓的LDO,那就燒掉另外一條e-fuse,依據不同組合燒掉不同的e-fuse
; @* U  c- g; H3 i1 t如此一來,GDS只有一種,光罩也只有一種,電路組合與應用卻是好幾種,而這就是e-fuse的優點所在,以最少的成本卻能夠得到很多種的組合變化

sjhor

這邊有一篇IBM介紹 efuse 的文章 相當不錯
( l9 c! b4 I. ^' Q' H. {
介紹給大家唷!!

3 E5 Z/ w% p% y2 G0 Q1 G[ 本帖最後由 sjhor 於 2007-11-19 09:37 AM 編輯 ]

JohnsonLLL

大大的解釋說明，好詳盡。
但e-fuse主要還是用在客製化的產品和需要驗證的產品。
若將e-fuse常用於產品中，會增加die size的成本。

sjhor

我想 e fuse 的好壞需要與傳統的 fuse 來比較!!
傳統的 laser fuse & current trim fuse 在網上已經有相當多篇的討論了!!
) U( K2 l) V! S2 d1 N* olaser fuse 其 chip size 增加較小  但是要用 laser trimming 的機台  這也需要費用 還有 laser repair rate 的問題。
Current Trimming 也會增加相當多的 chip szie 也是會增加相當多的成本!!

2 O0 a% g' T9 r+ ^% q1 d4 z目前比較不了解的是 e-fuse 是不是有比較佳的成果!!

gilmore

請問我已經付完了~~為什麼也不能Download呀 ?
: f/ w% c: `; M( h+ X請您寄至小弟的mail可以嗎 ?
antigm@pchome.com.tw
8 @: e) h' `: ?+ h謝謝~~
* t: t; y" S1 l
原來權限=20，現在成10了。

3 D, o2 A$ G: v[ 本帖最後由 sjhor 於 2007-11-19 09:40 AM 編輯 ]

ichbinicn

goods, thanks a lot, I like it so much...

et2234

推  
, ~" }( R; z  P6 m, Q0 k& a好文章  就是要拿出來大家分享
4 W' H1 O3 A' T$ I& `這樣台灣的rd才會變強

dolphin75

不错的技术讨论,也想增长一下fuse方面的经验,谢谢各位不吝赐教.

yhchang

一般的fuse 是由一條條的 Metal 電阻或是其他種類的電阻所構成的邏輯電路
' I  i$ P. ?7 [, r; W% P* N( C6 F當CHIP Power up之後, fuse ckt的output會被keep在 high
/ \! ]+ G5 U7 h1 r/ j9 a/ r直到你需要去 trim timing或者是 voltage的時候 把相應的fuse用 Laser打掉
& q9 R+ s/ Z% {, c1 {讓 原本輸出為 High 改變為 Low準位  從而改變 timing或是 voltage
) }. R" ]+ {) c1 |6 c
但一般來說這種作法 需要測試工程師在機台上去打, 如果 貨交到客戶上才發現
timing或內部電壓需要調  甚至是有 ARRAY CKT Cell fail時  (這是惡夢!!)
這時候你如果有 e-fuse 電路   就可以用  高電壓來取代 Laser
把 fuse 燒斷, 達到你想修補 fail Cell, 或者是 trim timing 及電壓的目的

/ n: O4 P# `6 \, |2 J# D& E但是一個e-fuse電路 相對於一個一般的fuse電路來說 面積會大很多
基於殺雞不可以用牛刀的前提下,  e-fuse電路必須要用在刀口上才行

emcthomas

就我的認知,e-fuse只是一個有別於傳統laser trim之方法的簡稱
實現的方法有許多種
8 t" Q" G. E2 O  v1. 採用trim pad : 利用大電流燒斷metal / poly 作為 0/1 的信號
: L% O' _( v5 Y! q) [  r- I2. 採用EPROM/OTP(含1P OTP)/FLASH/EEPROM 等元件當作是 0/1 的信號
" g' J1 X# s' t5 \2 J  x. b    在power on時讀取data,力旺的IP即是以1P OTP當e-fuse

alexbai

It's wondful,I'm intersting it

spencer_lu

感谢感谢，找很久了...................................

jacky002

e-Fuse在實際的產品應用上，其實是利用高壓在測試階段將所需的狀態改變，利用高壓將資料寫入。
Pros:
+ _0 o6 p; Y: ]; z0 s6 p, g  \0 M1. 不需在FAB改變Metal層, 方便使用
2. 可提供一些model差異化，不需用bonding package去做
/ G1 H% y% T$ `  Z6 r( F' z3. IP容易取得

# Q" ^& U2 |* D# [: ?& i/ mCons:
1. 只能寫一次，不能再改變
0 K/ o1 l9 w( O. m4 N2. 牽涉到高壓方面，有可能影響良率
7 T, T; g6 m! a) ]+ |$ g
其他技術方面，爬爬上文解釋得非常清楚。

fcchang

最近才開始工作，
一堆新東西都是當初在學校裡完全沒有看過的
% s$ X" w) ?* N- Z現在手上又開始要做新產品的design review
偏生這些東西是什麼鳥都還不知道
1 a2 \  {& k& R- l" G3 l剛好看到這東西
8 c) \; u3 @- S7 h. q" U一整個大感謝

aleck

非常感謝大大提供這麼好的資料感恩啊 ~~
謝謝啦

liucrobin

正在做这方面的，看到的都是传统的fuse，看看这个e-fuse∼

hing

最近也在做相關的工作，看到了很 metal fuse 燒不斷不現象，正好來這邊學習前人的經驗！

memsortss

各位大大....謝謝啦....我最近一直在找相關資料

wissen

感謝分享阿 原來fuse還有這麼多種 真是非常感謝各位大大的無私奉獻