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Dear All:
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目前遇到的問題是 laser trim 完發現有時電壓有變動有時不會; W2 t" G, F9 M, `- |- L4 T$ E
k D+ }! f8 j) x2 ]' O! ^與 laser energy 無關, 因為有掃過能量, 結果也是有時會動有時不會動' N& P6 @* i, P+ x
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用 OM 確認 Metal fuse 斷的很漂亮, 用 FIB 掃卻發現不會動的 die fuse 沒有斷的很乾淨& _$ i, V0 e+ V9 s: B, ]
" C' }& _( i- \5 e1 H7 }" b' _9 U不曉得各位大大知不知道是什麼在影響?
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9 F: o& T& z) w/ u O- w1 B0 Y, `2 R另外就是, fuse 上面是有開窗的, 不過距離上面有很深的厚度
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不曉得會不會影響 laser energy 打到 fuse 時能量已經降低以致於打不斷 fuse
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4 k1 y) T ~; {) d以下是 Fuse & trim 的相關討論:9 ~4 Q6 E, b+ S' F! o, A. V- S
poly fuse 的問題 : V1 I3 _7 v4 H2 G; ]# \9 }
e-fuse?
7 v3 D/ @5 @4 D5 _& _0 Xpoly fuse 大約多少能量便可以燒斷?
+ |: S* b6 y3 H如何判断poly fuse 已经blown
. i5 C! i" s& o+ N( J$ s有關poly FUSE的不錯paper給大家參考
; I, A n# {- A# Y, u' B做完laser trim後內部的電路被打傷的情況嗎?
5 }' ?2 Z) S) h, S2 p4 f( |Trimming method? - K* {5 {+ M3 c
Current Sensing Resistor Trimming!! & s4 N2 e5 Z" m! v' U
请教做laser trim的注意事项 / k. }, F; I) U# H- e! `
Current trimming 要如何做呢?
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) Y7 i/ P6 a2 e' c; K1 N8 K& _' w[ 本帖最後由 sjhor 於 2009-3-17 06:44 PM 編輯 ] |
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