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有一本書我覺得蠻不錯的
7 m1 u) ^7 C2 N, w原文跟中文書都有 也是大部分技術學院大三大四" {" _" \; Q' w$ o2 `* B
會使用的 半導體製程概論 教材8 V$ p; U! |" q- I
看完這本再去看 莊達人的 VLSI 製造技術, 高立出版 % b1 Y+ `/ |7 I, D
整個製程概論應該就會蠻了解 (莊達人這本跟施敏的半導體元件物理幾乎每個固態組的學生都會買)5 a$ n8 M+ b F
& E( h0 B# H: P0 `) X$ E+ S2 Z
Introduction to semiconductor manufacturing technology
# g0 |( h2 v- @' x) S半導體製程技術導論
4 V3 j s J4 ~4 q. @" r" D原著 Hong Xiao
) N$ v5 ?5 y* e7 x5 h) V, c' v譯者: 羅正忠 張鼎
& [6 b' |5 a( p1 a1 P4 E6 Y& n/ M* E% k ~. x
以下簡列書的目錄
S9 w0 O7 N L0 A; FCh1 導論! |- e ~. T- C$ J: a# B6 ?: w
Ch2 積體電路生產的簡介; [% {$ J! v2 h- X5 `
Ch3 半導體的基礎& i0 r- E2 F- g# L* X: d \3 I- Q
Ch4 晶圓製造/ p* f4 U7 U8 o- y
Ch5 加熱製程
$ `- }% r2 A: c+ {" N( H2 r$ V, i: SCh6 微影技術& F* R, f+ c' m$ ?# u
Ch7 電漿的基礎原理
9 d! |; S9 q3 f C0 mCh8 離子佈植
; Q1 @' j9 s+ z$ F& kCh9 蝕刻/ K0 [ J! w0 | j
Ch10 化學氣相沉積與介電質薄膜
' U; z( a$ q. `/ \6 HCh11 金屬化製程
4 V" P3 I% u( A' m( KCh12 化學機械研磨
( N- g- Y# T3 @. L5 nCh13 製程整合
/ L" I5 Z0 R8 t+ zCh14 CMOS製程
& D, i9 O" H/ X4 i$ A; P0 [1 l0 U/ |' r$ \
這些都是基礎 到了公司學到的 不同公司的製程 對各個Layer的命名方式都會有所不同! F: k4 Y/ X: Q6 K
學習這些基本理論的原因 是要培養 你對整個半導體 從最底層到最高層一個建構剖面圖的觀念2 G! J! w( [. U b
用什麼製程技術產生Oxide做隔離 用什麼製程技術做成Channel
% Y; C$ u, Y4 v9 T8 q8 [8 F- f怎麼樣做出濃度不同的diffusion, 寄生BJT或Diode又是怎麼形成的等等
- v' u1 d! [* y, k5 z* |- W+ m/ e5 E5 B9 m( w! w5 }# C; ?
在這邊比較可惜的是 以前的交大NDL有 半導體製程的教學網頁 會把0.35um的製程從第一個步驟介紹的最後一個步驟8 ^1 k. k, B$ w8 G. ^5 |
都是用動畫的方式來呈現 對當時還在唸大學的我非常有幫助, 不過現在好像找不到這個網頁了 殘念
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; V& D1 Y( b- o. \* ^& a A[ 本帖最後由 yhchang 於 2008-2-4 10:49 PM 編輯 ] |
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