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Dear All:
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目前遇到的問題是 laser trim 完發現有時電壓有變動有時不會/ s: R0 K+ {& B( v+ s
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與 laser energy 無關, 因為有掃過能量, 結果也是有時會動有時不會動, Z' w, f' j" F( b' g" z e1 j+ L
& ~. C: M7 O7 x用 OM 確認 Metal fuse 斷的很漂亮, 用 FIB 掃卻發現不會動的 die fuse 沒有斷的很乾淨
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0 W8 W! `8 _; y; I( w* s不曉得各位大大知不知道是什麼在影響?6 W( ]" i, |6 ?) E% h
2 M. o9 S7 x4 e; T: L) _另外就是, fuse 上面是有開窗的, 不過距離上面有很深的厚度
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不曉得會不會影響 laser energy 打到 fuse 時能量已經降低以致於打不斷 fuse4 r; w. ^" |/ A( O
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以下是 Fuse & trim 的相關討論:4 G4 F' l% s7 b1 F/ F/ s
poly fuse 的問題 & A; H1 J' b. v1 o. y2 H
e-fuse? : S+ V5 c6 c" s. e. V, H
poly fuse 大約多少能量便可以燒斷?
) ^. b6 ?2 R9 @( L# v! o1 O如何判断poly fuse 已经blown 4 h0 T* B+ ~" V+ R0 V# K$ N3 k
有關poly FUSE的不錯paper給大家參考 $ B. U# j! @! e) n
做完laser trim後內部的電路被打傷的情況嗎? 9 }: J7 H; x7 w
Trimming method?
+ {0 U& V; ~1 R6 d" a3 zCurrent Sensing Resistor Trimming!! f/ P6 E i' N0 v. a E
请教做laser trim的注意事项
% K4 s) e" m$ JCurrent trimming 要如何做呢?
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+ A; C; O$ `( O8 S1 _' \5 c$ J$ P[ 本帖最後由 sjhor 於 2009-3-17 06:44 PM 編輯 ] |
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