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請問大大,我現在想學關於高壓製程Layout: }, ^5 Y! @8 u& C6 o% q
那我對高壓製程的構造不是很了解,可以介紹網站或資料給我做參考 ...! f' L+ {) ^; D' I7 [0 Z. ^% [
b0917353006cool 發表於 2011-6-10 06:20 PM 5 c$ Y1 P) b* h3 x4 W# Q
. r3 s: p" ~. F* d( l個人淺見,分享下關於高壓製程和佈圖學習應驗$ N% Y2 R7 k- u2 B/ Q4 W6 k( m
1:首先理解目前我們HV製程的一個簡單劃分
9 J, c8 R/ M$ D/ C* G 不同的廠家,會有不同的定義,在深亞微米中,可能5V VBRDS的Device已經被識別為高壓。) ~# R8 m0 X; M
依據VBRDS/VGSmax大致可以作一個劃分
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) _! g! a2 N- @ VbrDS<5V) j7 L% _8 y6 D6 W2 k8 b+ ~; l
MV
2 A K e2 ]; ?& ], [ 15V<VbrDS<25V" x( q7 F0 Z& w& s
HV
2 i2 W: W, \7 ?4 w# q9 A/ i 30 <VbrDS<45V$ o; [$ h2 x$ b V% _+ h* k: y
45<VbrDS<80V- Z3 d4 X% N4 s1 Q
UHV( _& _* D, \# G3 G1 m
80<VbrDS<120V
0 w2 {9 L0 k- R5 G9 p1 l 500V<VbrDS
% e% R8 w# O- t$ `: i @8 M 800V<VbrDS
4 B- `3 t8 w8 r4 } ? a, a5 A 目前大致會做這樣幾個區間的劃分,這種狀況與製成本身的發展,產品系列兼容,甚至考慮兼容早期BIPOLAR用於電力,電機產品有一定關係。
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! ^( h$ b4 l6 x3 t* t( W+ n) i2:此後,可以按照自己學習興趣與工作需求,選取制定學習計劃! n" u: x& h2 ^; m2 Z. ~5 x* _9 \
並理解器件的物理和電學特性
* p' _( \8 k) p2 R) h, l4 S' q; n 這樣做是必須的,好處也很明顯。只有這樣才能避免犯錯誤,才能理解高壓規則的制訂依據或者限制級在那裏。
& d' D0 q; v6 o- G8 d4 e 一些圖書是必須的,製程介紹類的圖書相信大家都不會缺少,特別強調下,在30V以上時,最好下功夫對LDMOS做細緻的學習。9 D: U6 w: T$ y% t; u3 o( G
如果涉及到80V左右的應用,尤其需要謹慎,因爲在CMOS時代這個電壓區間是比較尷尬的,HVI可能會帶來leakage current的問題,一定要與廠家做好細緻溝通,並在Pre-tapout前作好Review。0 S% y Q' Q$ y: w5 r/ Y
500V之上的的單片集成應用必然會涉及到Resurf技術或者SOI的應用,這樣的製程會與普通的結隔離又較大的差異,HVI也會帶來影響。不過一般廠家都會給出一些解決方案,7 j# ~ g0 }# N" c3 M1 W; Y6 G b
IR,摩托等等公司也產生了很多專利 ,讓人感嘆設計師的創造力之強 。, Y# G; Z* I; l' ` J8 h
理論的學習,) e; s# U k2 K' n1 o6 l4 ?' y
推介使用陈星弼老先生的那本《功率mosfet與高壓集成電路》,這是一部相當老的圖書,出版于幾十年前,但是對基本結構,如場板,終端結構等等的介紹很清晰明瞭。
/ ?3 n* m. h: Q( m 原書已經絕版,好在資料可以到網路上搜索到。* q9 F6 B6 D) H# _) j+ T6 U4 j2 z9 n+ A
o5 Z3 h% `$ g; v2 ~& I3:實踐
0 q1 U" Q, m r9 w$ o 檢索了目前大多數的論文與報告,並不令人滿意。在這個工程領域,主要的技術應當是各個廠家。
0 W. ^" A4 Y! I UMC/TSMC年前都對這個領域作了開發,可能主要的目標是指向對新能源產品的支持,可以咨詢並下載相關文檔。其中給出了Refrence Rules和相應的guide line,這些規則大部分對其他產品設計依然有' e2 Z& f( F6 r9 o
參考的作用。此外 X-FAB,AMIS在這個領域可以說是歐美洲區域領導者地位,結構也與台系有區別。尤其AMIS。不過好像已經被ON收購,可能會在合作中產生一定障礙。9 y8 s9 w) @, S7 Y# h
特別提一下新竹的EPISL,應當是臺灣較早投入這個領域的廠家之一,EPI是HVDevice的關鍵之一,或許是EPISL的最大優勢。當然,還有極低的價格。
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* @: T' S, c* c3 x: h( v4:Reverse engineering
0 `7 h' H1 ~) t. ~0 k" [ 對於新的公司新的設計,是個可選,當然僅限與佈圖參考,如果完全依賴,那就驚險了。
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: r' `% C9 f4 y$ A: s淺見,歡迎拍塼! |
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