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Seal ring 主要是防止切割時的應力去damage 到chip,% _7 s6 J7 N: [' ^& t, p( D
可參考各家fab的document,
) i) U. _0 u. Y5 M根據經驗,seal ring的寬度不用照fab的,可是結構可是一定要參照fab 的方式。
- M( d! M S2 G1 N2 ? [+ K4 ^# ?因為要考慮到seal ring是介於chip和scrible line中間的,如果設計不好,可能是會造成in-line 的一堆問題。/ A4 S; a; V/ v- @ q
(如製程時的particle無法去除,切割時chip崩落)。9 R: k. i9 b6 r6 j, K# o+ x
這些都會造成量產上的困擾
. ?. W+ P% o% u' O當然請fab加是最好,可是要損失的就是面積的浪費
, m: p( C: A, X% m# }+ g5 t _- x(因為fab的都給的很寬,所以相對chip面積會增加,因為seal ring圍在ic四週,所以增加的面積蠻可觀的)。" `. m1 w' I; J" X% t' a9 T
大概是這樣! |
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