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標題: 關於高壓製程HVNW與NW [打印本頁]

作者: tommy01    時間: 2013-4-12 11:31 AM
標題: 關於高壓製程HVNW與NW
請問一下高壓製程裡面的HVNW與一般低壓的NW有什麼不同?
' u- ?' \1 q4 S1 G高壓製程的WELL到OD距離較大,用一般的NW也可以阿6 {8 I; o5 I7 q8 c; _+ e
爾且連接到HVNW電位與一般的NW一樣,不是都透過subco連出來的嗎?& _8 ^% j7 G' l' l# |# B
還是HVNW挖的井區比低壓NW深,導致subco也比一般NW深,所以可以提高耐壓?
作者: m851055    時間: 2013-4-12 02:21 PM
與參雜濃度及doping深度有關。4 n9 E) {, Q; ]
看cross-section圖可以了解。




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