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標題: OD2 與 SAB 的意義?? [打印本頁]

作者: flank0122    時間: 2013-7-22 12:00 AM
標題: OD2 與 SAB 的意義??
小弟才剛學習沒多久,目前有畫到PAD 電路圖裡在大p 大N 的MOS有畫到 OD2 和SAB 的LAYER層,但對於他們兩個的用途觀念很模糊,在網路上查到的也不知道對不對,麻煩各位前輩指導小弟
- s. S# J3 W$ |& H. [' M# w# M* t% J! P, P/ i. W% c7 B
OD2作用:
9 D2 L! o" N& A/ p3 m- \! [) V$ ]1. 增加阻值, g8 ]4 O$ h4 x1 f; O/ M
2. 防止電流過大而導致元件燒毀4 S* t( F7 J0 @, V0 _0 R# I9 N8 \/ \
3. 通常用於高壓製程上
4 A$ a9 A3 s; ~+ v+ Y4 ?8 s6 |) l. L
SAB作用:
$ Z$ x! o( j/ T1. 可以用來計算電阻值
8 |$ Q! ]) Z+ L, b2. 降低阻值
8 G5 F6 u. o; U; o3. 防止LDD的尖端放電
' K5 L! ?% x/ j1 h3 S) g3 F; v% y% F( Y( B% P  R' U: T7 F- ]1 c

1 h. F# Q7 f! K% P- U3 G以上不知道有沒有錯誤的地方,還是哪一個有重要觀念沒寫到的呢?
作者: bowbow99    時間: 2013-7-22 01:38 PM
本帖最後由 bowbow99 於 2013-7-22 01:45 PM 編輯 6 i5 K6 W, f) _% e( e7 ?6 \
, M# e& Y& c6 k4 d5 m3 R
個人的認知與看法!有錯請指點一下!
; }) \' W$ I" e: Q/ Y3 |9 L" Q6 [# [* R6 {+ y# X* y
有蓋OD2的OD會變厚,我也認為跟樓上2. 3.點差不多!
7 a( i6 k) [& }/ R% q5 r
6 P% Z! L" |0 ?" O* C5 k0 H# m; I3 Q+ t蓋SAB會檔著Salicid的形成,使阻值比較大!如POLY電阻有蓋就比沒有蓋的poly gate大!7 T5 c% j4 d7 }6 ^1 ]
能不能計算電阻!我覺得是由另一層Dummy Layer在計算的!只是蓋的範圍跟SAB一樣!
作者: daviv5    時間: 2013-8-2 05:03 PM
樓上說的正確沒錯~就是這樣
作者: chang707070    時間: 2013-10-5 11:29 PM
OD2 : 我知道的是Gate 加厚,不知道 OD 是不是也有加厚8 B+ H0 q- }$ o4 f4 a
這層其實對 DRC & LVS 都是有特定的意義的2 ^9 F9 G/ s# C7 v3 B
SAB : 認同二樓說法
作者: sainwu    時間: 2015-8-17 12:10 AM
學到了一課,感謝大大分享!
作者: engineer    時間: 2015-8-17 01:58 PM
OD2是否為運算層?而SAB為實體層?請指教,甘溫。




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