KLA-Tencor 推出 Aleris 8500 薄膜量測機台

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KLA-Tencor 推出 8900 檢測系統 專為 CMOS 影像感應器應用程式而設計的彈性缺陷檢測系統
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3 S. _0 u4 V" e) a  F% ~(20091013 16:49:48)【加州 MILPITAS 2009 年 10 月 12日訊】專為半導體与相關行業提供製程控制及良率提升管理解決方案的全球領先供應商 KLA-Tencor 公司（納斯達克股票代碼：KLAC)宣佈推出了 8900 缺陷檢測系統，正式將系列產品之觸角延伸至 CMOS 影像感應器 (CIS) 市場。KLA-Tencor 公司全新的 8900 提供可選取的光波長、與 CIS 像素匹配的色彩，同步明場和暗區的光學設計以檢測各種缺陷類型；具有可調靈敏度及產能設定功能，為從初始產品開發至彩色濾鏡陣列 (CFA) 大規模生產提供可獲致成本效益的缺陷管理。

影像感應器是可將光線轉換成電子訊號的裝置，主要用於相機。彩色濾鏡可讓感應器的每個像素對特定色彩(一般而言是指紅色、綠色或藍色 (RGB))做出回應。CFA 是以單一色彩、圖形層建構而成，其中每個感應器像素上都有一個濾鏡。每個像素上都有一個微透鏡。組裝流程的任何步驟皆可能產生良率限制缺陷，8900 可檢測任一濾鏡或微透鏡層的功能，有助於減少材料浪費並縮短生產週期。

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8900 缺陷檢測系統已於近期安裝在彩色濾鏡業領導廠商 - Toppan Printing Company, Ltd. - 的第一個 300mm 先進CFA廠內。“先進的缺陷控制攸關我們是否能可靠地提供先進的彩色濾鏡，8900 已大幅改良了缺陷控制功能並變更了我們的策略。”Toppan Electronics Products Co., Ltd. 熊本廠單OCF部門総経理Keiichi Hara 如此表示，“因為 8900 對於各種缺陷類型相當靈敏，而且可大幅提高產能，所以可在 CFA 流程中執行所有的缺陷檢測。之前，完成此操作需使用多種檢測工具。8900 也可以自動化執行缺陷監控工作(之前需要手動進行檢測)，因此有助於縮短生產週期和預測上市時間。”

/ Q$ G: E# n+ S2 e“影像感應器晶圓廠已經混合使用各種缺陷檢測系統(包含手動檢測)，以涵蓋 CFA 流程開發、生產線監控和進廠及出廠之品質控制”，KLA-Tencor SWIFT 部門副總裁暨總經理 Oreste Donzella 說道，“此項策略會導致錯誤發生和效率不彰。例如，手動檢測結果變數極大。即便是使用自動化系統，也可能會遺漏掉關鍵的缺陷偏移問題，因為很難針對不同系統之間的結果進行比較。在開發 8900 時，我們利用了 KLA-Tencor 在明場和暗區微觀及巨觀檢測的豐富經驗，進而為影像感應器晶圓廠提供單一且有彈性的系統，以盡力滿足他們在 CFA 檢測方面的需求。我們相信 8900 可幫助晶圓廠改良資源配置、提升目前產品之良率並縮短其最新影像感應器的上市時間。”

8900 缺陷檢測系統的主要功能包含：

+ d- ^; m3 i8 ?, E( x8 L6 n# ~• 同步的明場及暗區光學設計，單一檢測即可檢驗出各種缺陷類型，例如微透鏡變形、阻抗及落面缺陷、色彩沾汙、大型汙點及條痕；
• 可選取波長的LED光來源可匹配作CIS 彩色濾鏡檢測；
• 符合先進 CIS 發展藍圖要求的靈敏度；
2 D7 y( [6 K1 J& W/ q3 ~• 生產速度每小時 (300mm 半導體晶圓)能達到 110 片以上；
• 自動缺陷分類功能；
- M  X( j# ]2 r' r  f4 \• 自動執行晶圓量測結果通過或未通過；
; E5 Y9 C4 k0 l/ q* b2 P* g2 p• 自動拍攝高解析照片以驗證缺陷。