0.35製程pad的問題

yoyo20701

小弟最近為的下線~~遇到一個問題~~始終找不到錯誤~能否麻煩大大幫小弟解答一下~
小弟的pad在drc時出現錯誤~~但是它並不是所容許的錯誤~~
9 K* O* S* f5 j+ U" x; i5 ]) [而且小弟是用內建裡的整個pad(它幫我畫好的那種(總共有24個pad))
0 e5 n* M! M6 ~" h, E+ {1 W去跑drc的~~但它所出現的錯誤~並不是技術檔案所容許~~~~~~
5 B6 G. |: \3 S5 J錯誤如下:
+ O8 N# x) E( t        1.check OD.R.1.WARN-2 Resules
         OD.R.1.WARN { @ OD without implant
          OD NOT IMP}
9 J# k  J2 r9 a% E+ q+ ?         2.check M2.S.1.WARN-35 Resules
            M2.S.1 {@ M2 spacing < 0.50
$ k/ X- f- _( p* ]6 {* x           EXT M2 < 0.50 ABUT<90 SINGULAR REGION}
          3.check M3.S.1.WARN-3 Resules
               M3.S.1 {@ M3 spacing < 0.50
            EXT M3 < 0.50 ABUT<90 SINGULAR REGION}

  x  d( t' a5 _- M. \/ E- I              請大大幫解答~謝謝~

Shouwei

妳的2、3點所指的是
1 T8 q3 x" W3 c$ t! a5 V' h2. Metel2跟Metel2中間的最小間隔需要有0.5μm，可是您沒有達到(共有35處)
3. 同上(共3處)
  Z. f$ c8 o5 ]& V- c
第一點是說您的diffusion沒有離子值入區的樣子，小弟是沒遇過啦
只是在想，會不會是您沒有畫出pmos或是nmos，可能要慢慢找一下
  L2 ]& N% d2 X
其實您可以直接點下去DRC上面所寫的座標
就可以看到了，到底是哪出了差錯；第1點就需要這樣慢慢Try了~
不過，您的文中沒有提到，有沒有就單純的core做驗證呢？如果有還會這樣的話
7 P$ n3 c0 z% O# E+ @可能是pad沒有放得很好唷，在放pad時，要把grid調到0.01μm才會對得好，我的經驗@!@
: U( A, T' i3 B! {
最近下線都要postsim囉，要記得跑一下@!@
! l6 P/ o9 ~; c& M- y7 f2 ~( D最好是掛PAD上去再POSTSIM一次，這樣應該會比別人好過~

edengod

1.check OD.R.1.WARN-2 Resules5 h  E% X6 ~, E$ ~: E9 _
; \$ B  j% D6 @  J         OD.R.1.WARN { @ OD without implant0 s7 r0 R9 b1 e7 o/ ]
          OD NOT IMP}3 N; C: S' y2 V' ?: T
有 diffusion 沒蓋到 implant  或 p/n implant 重疊(若是這樣 drc commfile 寫的不好)

2.3
Metel2/3 跟 Metel2/3 中間的最小間隔需要有0.5μm
  E5 V# X% E* x或不是轉90度角.

yoyo20701

小弟找到那3個出錯的pad~單獨模擬那個pad~~結果有一個pad出現
1.check M2.S.1.WARN-35跟3.check M3.S.1.WARN-3的錯~~另外2個pad各有1個
, `' ?  o2 p4 E8 I3 r8 }) n: `check OD.R.1.WARN-2 Resules~~~我是單獨跑的~~也不知道為什麼會出錯~
而且~~萬大大一個問題~pad不是都cic畫好的~~我們不是只有引用而已嘛?為什麼只單獨跑就出錯~~而且還是不容許的錯~~麻煩大大幫解答一下~~謝謝

Shouwei

載新的來試試吧XD
@!@ 唯一能想的，不然妳就真的點drc上面說的座標，去看到底是哪裡出錯
唯有慢慢找了，因為小弟引用也沒有遇過

李寶容@FB

現在正再畫IO
6 J) W7 y1 k$ a2 [大家的回答都超有用的!!