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Dear All:
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目前遇到的問題是 laser trim 完發現有時電壓有變動有時不會! Z) w1 d8 O" ^; |6 d* B
# N7 u+ n; ?# d" N( k2 {( c與 laser energy 無關, 因為有掃過能量, 結果也是有時會動有時不會動* d: [: ]4 V* j$ b) i6 m
( m Y' R: h4 S0 T4 ^" D
用 OM 確認 Metal fuse 斷的很漂亮, 用 FIB 掃卻發現不會動的 die fuse 沒有斷的很乾淨% t' c6 R6 Q% }+ P* f# s* s
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不曉得各位大大知不知道是什麼在影響？
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另外就是, fuse 上面是有開窗的, 不過距離上面有很深的厚度
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不曉得會不會影響 laser energy 打到 fuse 時能量已經降低以致於打不斷 fuse
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以下是 Fuse & trim 的相關討論:
% V$ ?" R% e* c+ Y+ B2 N' D" I' m& upoly fuse 的問題 . c& A1 M" c; P ~) Q
e-fuse? 0 q( X) a$ ~+ t2 D" B! g4 f# K
poly fuse 大約多少能量便可以燒斷? 3 j9 z# \2 x0 ]7 Q% C" t
如何判断poly fuse 已经blown
8 x+ V" i5 |$ Y% r$ K& Q" s有關poly FUSE的不錯paper給大家參考 5 ^ G1 ~' N7 }( ~& ]% t
做完laser trim後內部的電路被打傷的情況嗎？ ( P9 l6 J" y8 G) p% o5 r
Trimming method? & L9 o( i- Y" `
Current Sensing Resistor Trimming!!
x4 G# Q( s- n$ j5 h请教做laser trim的注意事项
. R O `8 ?% X! N0 uCurrent trimming 要如何做呢? " P+ N7 ?; V4 I, w! ~6 T6 W
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6 U. u6 y! f4 c! Z [+ z* _[ 本帖最後由 sjhor 於 2009-3-17 06:44 PM 編輯 ] |
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發表於 2009-3-6 23:04:54
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