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你的問題應該在上過 IC 製程的課後
% v. Y% ]3 F ?# x5 V0 ~就能得到解答
( W# d6 I0 @$ C. v( K3 ^" `0 B/ `以1P3M N -well PSUB 製程而言
& t4 S. a! z. _+ l( S) `CO 以上
3 V$ X; A% L2 |CO 用來連接 POLY OR OD 到 M12 c! h# s' y4 O& I! K2 D
M1 第一層Metal 連線用
6 S1 ^; O* n1 } Via12 連接 M1 & M2 ,
, m0 w6 c6 H: q; m0 D. u2 [M2第2層Metal 連線用
. P$ j) o& n* w2 e3 s- L& N' AVia 23 連接 M2 & M3 ,
& B0 P. i7 v( h* }& W/ YM3 第3層Metal 連線用7 k; `9 c- G# o: I0 K
PAD 開window 讓bond 線 可以連接到M3
m1 G- m4 f* i8 P$ o' h也就是可以連到 chip 內部
2 M8 s, z+ d6 Y- V+ S+ aCO contact 連接 PO OR OD 到 M1 ㄉ通孔
8 S d& x( S4 D; H1 L! L叫 CO . ?: } U0 [" ?8 G# ^
via連接2層 METLA ㄉ 通孔 叫 via - b+ q. ?2 A n2 L0 ]
via 12 也有人 叫 v1* \$ V1 s) B) u6 t: a9 z) N7 I
via 23 也有人 叫 v2
9 Z/ H2 g' } R1 t同理可推 v3 v4 v5 ... ... 看你用幾層 metal
% f) S; ]# s9 q7 W: I有機會 再 來說 CO 以下 |
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