MEMS感測器 技術供應商評選

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(20101025 11:13:16)芬蘭VANTAA--(美國商業資訊)--過去20年微機電系統（MEMS）領域的開拓者VTI Technologies如今正朝著一個新方向邁進，拓展至消費電子領域。VTI已是汽車業低重力加速度感測器和醫療移植市場超低功率感測器領域的領導者。

  S% q5 a1 ~. c; CVTI總裁兼執行長Markku Hirvonen表示：「我們正利用在高效能微機電系統領域的專長，計畫開發針對消費電子領域的產品，挑戰當前的市場產品。」
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+ Y- T' @: n% l$ w, m5 L# s. q7 h4 @目前時機非常理想。隨著運動控制越來越多地成為手機、遊戲設備和電視遙控器等使用者介面應用的標準配置，消費電子微機電系統市場正蓬勃發展。最引人關注的是陀螺儀市場。

在2009年，VTI成為首家在全球最小和功耗最低的三軸加速度感測器CMA3000中採用晶圓級封裝的微機電系統公司。如今，同樣的技術正應用於陀螺儀。新型VTI消費電子陀螺儀將在2010年慕尼黑電子展（Electronica 2010）上推出，與當前市場上的產品相比，新型VTI消費電子陀螺儀在大小、功耗和效能方面都很出眾。

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Hirvonen指出，另一個非常引人注目的焦點領域是矽微機電系統定時設備。Hirvonen接著說：「微機電系統定時和頻率控制設備擁有許多機會。面臨的挑戰是如何解決與精確性和穩定性相關的問題。我們認為，我們已在這個領域取得了重大的技術突破。」
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混合製造策略
8 j6 r; ]7 q2 Y1 ?% s+ `, W: M新方向也影響了公司的製造策略，因為新市場要求更大的靈活性和成本效益。Hirvonen指出：「我們的製造策略將被描述為混合模式。我們正自己製造汽車和醫療產品並展開研發，利用委外供應鏈大量生產消費產品。這樣，我們可以在兩個領域都取得最佳效益。」
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, `1 e# d) c  G+ C0 g$ w$ {% pVTI簡介
VTI Technologies是加速度、傾斜和角運動感測器解決方案的領先供應商，服務於交通、醫療、儀器和消費電子應用領域。VTI利用專有的三維微機電系統技術開發和生產矽電容感測器。如需詳細資訊，請瀏覽www.vtitechnologies.com。
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; a6 {  g9 ?: Y: A2 V: P& A' L1 |VTI Technologies將參加2010年11月9日至12日在德國慕尼黑舉行的2010年國際電子展，展覽攤位在A2廳428號。

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VTI Technologie今天在慕尼黑2010年國際電子展上宣佈將進軍微機電系統定時設備市場，拓寬其產品組合並進一步擴張到消費電子市場

芬蘭VANTAA--(美國商業資訊)--對於微機電系統（MEMS）領域的開拓者VTI而言，定時設備是進入高度關注市場的自然措施。VTI消費電子部副總裁Sten Stockmann先生指出：「在一份對新興微機電系統產品的分析中，Yole Developpement將微機電系統振盪器列為2015年擁有最高市場價值的產品，從2009年至2015年，其年複合成長率（CAGR）最高。微機電系統振盪器2015年的預測價值為6.449億美元，而2009年為790萬美元。」
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VTI的定時設備產品將採用VTI專有的3D微機電系統和封裝技術。VTI目前採用其Chip-on-MEMS（CoM，微機電系統晶片）技術對消費感測器進行晶片級封裝（CSP）。同樣的技術將用於Chip-on-MEMS反向配置振盪器。

微型化促進微機電系統技術
石英晶體（用於定時設備的最常見壓電振盪器）在克服最先進消費電子設備微型化的挑戰方面面臨諸多困難。隨著石英振盪器尺寸的減小，震盪穩定性和頻率敏感性將受到不利的影響，部分原因是由於振盪器的變小增加了晶體的阻抗。小型石英振盪器也更容易收到衝擊引起的頻率偏差的影響，因為越小的封裝對機械振動的容許程度越低。

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矽微機電系統振盪器是石英晶體的一種可行的替代方案。微型振盪器可蝕刻於矽中，從而生產出微型的產品並透過大型（8英寸）晶圓量產半導體製程降低成本。此外，微機電系統振盪器能夠有效降低衝擊和振動的影響。

2 o6 x- }' g6 z$ pVTI的解決方案實現成本效益、減小尺寸和提供出眾效能
目前市場上的微機電系統振盪器技術的初始精確性低，溫度變化大。典型的微機電系統振盪器可能與目標頻率偏差10,000ppm。除此之外，微機電系統振盪器的溫度偏差約為每攝氏度30ppm，在零下20到正70攝氏度的標準溫度範圍中，還可能出現3000ppm的偏差。

採用這種振盪器技術，複雜的專用積體電路（ASIC）的設計必須能能抵消這種頻率不精確性，增大了尺寸、成本、功耗和噪音。最終生產的產品沒有成本效益，不具競爭優勢。

8 s% ~, e  Q- Q7 KVTI的技術克服了這些常見的問題，提供比傳統石英振盪器更高的效能。VTI將於2011年初推出其首款定時設備。
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  q! H8 s6 c' O* x0 oVTI簡介
VTI Technologies是加速度、傾斜和角運動感測器解決方案的領先供應商，服務於交通、醫療、儀器和消費電子應用領域。VTI利用專有的三維微機電系統技術開發和生產矽電容感測器。如需詳細資訊，請瀏覽www.vtitechnologies.com。

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•組合感測器可以檢測所有三個空間軸向的角速度和加速度
•經過校準的溫度補償型組合感測器SD746在一個小型封裝中整合了6個分立感測器的功能
•非常適合檢測消費品和工業領域的運動和穩定性
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7 g4 l8 t) [$ ^7 h奧地利格拉茨--(美國商業資訊)--一維和多維慣性及無線感測器製造商SensorDynamics正為其緊湊型QFN40封裝組合感測器系列添加一款產品：擁有六個自由度（6DoF）的新型微機械SD746組合感測器，包括分別用於檢測角速度和加速度的三個測量軸。這是SensorDynamics採取的下一個邏輯步驟，以便在其強大和可靠的慣性感測器中進行更高密度的整合。SD746擁有數位I²C和SPI介面以及廣泛的測量範圍（±2048°/s的角速度範圍，±8 g的加速度範圍）。這使得它擁有足夠的靈活性，能夠應用於消費品業和自動化領域的眾多測量應用。此外，SD746為溫度補償型，並且經過了工廠校準，可以實現極小的偏移誤差和溫度漂移。

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感測器特點和應用

SD746可支援2.55伏特至3.6伏特的工作電壓以及-40°C至+85°C的工作溫度。陀螺儀訊號和加速度計訊號在室溫下的最大偏移誤差分別為±5°/s和±0.1g。陀螺儀訊號和加速度計訊號在室溫下的靈敏度誤差均為±2%。SD746還包含一種特別的斷電模式（這種模式下不會消耗電力），由於SPI介面依然具有高阻抗，因此感測器無需從匯流排中去除。
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SensorDynamics執行長Hubertus Christ表示：「我們是全球首家推出包含評估板的充分特徵化和詳細說明的6 x 6 x 1.2毫米6DoF IMU的製造商。」
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3 X4 O; J6 Z: s3 l' t8 eSD746具有較低功耗以及小型封裝，適用於工業應用以及由電池提供電力的消費品，例如手機和智慧手機、筆記型電腦和小筆電、遙控器、遊戲機或者數位相機和攝影機。SD746還包含一種持續工作的自我測試裝置，這使它成為了工業領域的儀器和控制應用（例如機器人控制和導航）的理想選擇。

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Discera為網路、伺服器、儲存和視訊應用推出全球效能最高的MEMS振盪器
  m7 h7 _& E  B3 n0 p1 n( A獨立測試實驗室證實 Discera MEMS 振盪器性能可滿足10 Gigabit乙太網路和企業資訊儲存的要求
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中國深圳--(美國商業資訊)—在微機電 (MEMS) 振盪器技術居於領先地位的 Discera, Inc. 宣佈量產推出全球效能最高的MEMS振盪器，為網路、伺服器、儲存和視訊應用提供最佳精度及穩定性。DSC11XX矽振盪器的精度高達10 ppm，其最高工作溫度可達攝氏125度。DSC11XX是迄今量產的性能最高的矽振盪器，在不同輸出標準 （CMOS、LVPECL、LVDS和HCSL）下的均方根（RMS）相位抖動（phase jitter) 為 300 飛秒（femto-second)。
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Discera執行長Bruce Diamond表示：「雖然市面上各種矽振盪器有不錯的可編程性與靈活性，但直到今天它們仍未能提供高速通訊所需的超低抖動、頻率穩定性以及雜訊耐受性。」

獨立的系統級測試也首次證實 Discera 的矽MEMS振盪器在儲存和網路應用效能方面超越了晶體振盪器。GRL測試顯示，LVPECL DSC1122超越了6G SAS相容性要求，其傳送過程中產生的抖動比SAS 2.1規格低59%。新罕布夏大學互通性實驗室（UNH Interoperability Labs）的測試顯示，DSC1122超越了10 Gigabit乙太網路的相容性要求，其傳送過程中產生的定時抖動比10GBASE-T規格低45%。

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Granite River Labs首席技術工程師Mike Engbretson表示：「我們使用DSC1122矽MEMS振盪器和三階諧波（third overtone）石英晶體振盪器在同一批6G SAS HBA進行測試，結果發現使用DSC1122的系統有相同的性能，同時傳送過程中我們測量到的系統隨機抖動和總體抖動都要低一些。由於晶體振盪器在元件等級擁有稍低的RMS相位抖動規格，這些測試結果顯示我們必須做系統相容性測試。」

因為採用已通過數年產品驗證的 Discera 矽MEMS技術，DSC11XX可以提供極出色的抖動效能，同時它也有比晶體振盪器產品更低的能耗，並在更大的溫度範圍內提供更高的頻率穩定性。由於無需石英晶體或SAW技術，矽振盪器可顯著提升穩定性並加快產品開發。憑藉飛秒抖動和10ppm的頻率精度，DSC11XX振盪器可滿足DisplayPort、乙太網路、光纖通道、PON、SAS和Wi-Gig等高速通訊對 10 Gbps及更高訊號速率的效能要求。
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8 w/ ~0 W: i: r' ^, r: s- }6 xDSC11XX振盪器是標準晶體振盪器的引腳相容替代品。主要功能包括：156.25 MHz（在200 kHz至20 MHz範圍內進行整合）時300飛秒RMS的超低相位雜訊抖動；更大的工作溫度範圍（攝氏125度），領先業界的高達10 ppm的頻率精度；以及兩周的生產交付期。
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6 u( z) V  V% V$ W* ?" tDSC11XX MEMS振盪器提供半導體穩定性、多功能性和較短的交付期，並且精度和價格均優於晶體振盪器。10000件LVPECL DSC1122和CMOS DSC1121產品的批量訂購單價分別為3.80美元和不到1.00美元。

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(20110602 16:38:49)挪威HORTEN--(美國商業資訊)--STIM210代表著全世界性能最佳的矽MEMS陀螺儀模組，對於一直迫切地想要提供更小巧、優質和便宜解決方案的系統設計者而言，這是一項重大的突破。STIM210是一款成本和能耗低、重量輕而可靠度高的3軸陀螺儀模組。
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STIM210的重量只有55公克，工作溫度範圍內的偏移穩定度為10度/小時，偏移不穩定度為0.5度/小時。系統設計者會毫不猶豫地選擇該產品來替代大且昂貴、脆弱且易磨損的現有光纖陀螺儀 (FOG) 和機械陀螺儀感測器。
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Sensonor Technologies一直致力於拓展MEMS陀螺儀的範圍並研發一整套全面的高性能慣性感測器組合，而STIM210正是公司發展過程中的又一個里程碑。STIM210不受「國際武器販運條例」(ITAR) 限制，適用於工業、航太和國防市場的平臺導航、導引和穩定應用。
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3 O) W7 a% @1 f7 V, B6 XSensonor Technologies負責銷售和行銷的副總裁Hans Richard Petersen先生表示：「STIM210是我們成功之路上堅實的一步，實現了我們為市場提供更穩定、堅固和經濟的高性能陀螺儀的願景。MEMS陀螺儀的性能不斷提高。在苛刻的環境中，它有更低的成本、更高的堅固性和可靠度。STIM210讓我們的產品組合可以充分因應導航和導引領域的更多應用。」

STIM210將於從6月6日開始的一周在德國Sensors and Test和美國感測器博覽會 (Sensors Expo) 上推出。
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關於Sensonor Technologies AS
' N) ~4 e* L  X2 E9 V$ y0 O2 e( {Sensonor Technologies是MEMS技術領域的全球領導者，為高精度應用設計和製造先進的整體慣性感測器。Sensonor擁有30多年為涵蓋高振動、高衝擊和不同媒體的惡劣環境開發和製造可靠MEMS感測器解決方案的經驗。

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ADI 的 ADXRS800專利*四槓桿結構，提供0.03°/sec/g 的線性加速拒斥力，同時可持續監測全部的機電陀螺儀性能。

; {) C- X+ I) x+ B) t台北2011年9月8日電 /美通社亞洲/ -- ADI(Analog Devices,Inc.)美商亞德諾公司為車用電子穩定控制、延遲偵測與音高估測等應用，宣佈推出 ADXRS800 iMEMSR 陀螺儀，該產品採用專利的差動四槓桿結構設計，可大幅減少線性衝擊與振動的影響。ADXRS800經過車用安全度認證，是最穩定、抗振動的汽車級陀螺儀，具有持續性機電自我檢測功能，確保陀螺儀輸出信號的完整。
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ADI 車用部門副總裁 Thomas Wessel 表示：「穩定的控制系統，不論在任何時候都需要精確的慣性信號，特別是在嚴酷的振動與衝擊下。在汽車應用中，安全性極為關鍵，就像 ADXRS800所提供的抗振動性能便是一例。持續性自我檢測的功能，在以依最高的業界標準來實現故障保護系統的性能上也至關重要。這顆晶片所提供的創新之處，將讓汽車更加安全。」
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ADXRS800與其他 MEMS 陀螺儀的不同之處，在於其獨特的架構在極其嚴酷的車用環境下，能夠達成非常精確的性能，卻不需要複雜且昂貴的系統級計數器量測。線性加速度靈敏度設定為僅0.03 °/sec/g，振動修正只有0.0002 °/sec/g2，雜訊率密度在 +105 ° C 下為 0.02°/sec/√ Hz ，零點偏移變動值在全溫度範圍與全產品使用年限下都只有3 °/s。
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* M1 D3 l% b2 e; H$ w* C為了進一步簡化了系統設計，這顆陀螺儀與其他同級方案相比，提供更好的偏移穩定度，而且不需校準。更重要的是，在典形狀態下的功率消耗只有6 mA。這顆全新的陀螺儀有空腔塑料 SOIC-16封裝（Z軸）與可表面黏著的垂直黏著型封裝（X 軸），並可操作在-40 °C 到125 °C 的延伸溫度範圍內。

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有關 ADXRS800 iMEMS 陀螺儀的詳情

ADXRS800的持續性自我測試架構，簡化了故障偵測演算法，並且讓系統設計人員能夠快速將故障偵測整合到設計中。由於其機電系統的整合度讓從基頻下真實速率刺激的差異可以被濾除，施行過高頻靜電力到感測結構的檢查並已通過，所以並不會干擾感測器的輸出。ADXRS800由於具有寬廣的動態範圍與0.16°/s rms 的低雜訊，還有80 Hz 濾波器，因此可以感測高達±300°/sec 的角速率，同時在低端提供高解析度的80 LSB/°/s。角速率資料以16位元字組構成，成為32位元串列週邊介面（SPI）訊息的一部份。
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' g2 u! B: s* F5 E其他的特點還包括在整個延伸工業溫度範圍下的內部溫度補償，以及可選用的陶瓷垂直黏著封裝（這樣是唯一能在一片 PCB 上作到三軸感測，而不需要 PCB 子板的作法）。要訂購樣品或下載技術手冊，請造訪 www.analog.com/ADXRS800 。
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ADXRS800 iMEMS 陀螺儀主要特點

獨特的差動四感測器技術，在很寬廣的頻率範圍內都能提供高度抗振動與衝擊性能，在嚴酷的環境下也能提供可靠與穩定的讀數。
提供80 LSB/°/s高解晰度的±300°/s 量測範圍
1 Q7 U# H( q1 C; E9 i7 v0 d在典形狀態下的功率消耗只有6 mA
零點偏移變動值在全溫度範圍與全產品使用年限下都只有3 °/s
( ~' |) w$ @( J  c# E1 E在+105°C 下具有低雜訊，雜訊率密度規格為0.02°/sec/√Hz
2 I. C3 l( ~6 V5 |  r9 Z已通過車用認證