關於STI製程,dummy的問題?

tommy01

最近在畫STI製程,mos兩邊要加dummy
) ~1 `% {5 b; h* a' @5 k! f! m主管說兩邊的dummy一定要跟中間的mos共用
中間的mos s端接vint d端接其他net:a
' ^; v/ ?* c/ d) [跟s端共用的dummy g,s,d端都接vint
跟d端共用的dummy d接net:a s端接vint gate也接vint
( g4 M1 f2 ]9 i8 j: S7 |% T問題一:STI製程,dummy一定要跟中間mos共用嗎? 我原先是畫沒共用的,所以dummy跟mos會有一段space
問題二:跟s接的dummy是ok 但是跟d端接的dummy 有一各端點接net:a 其他2端接vint 這樣接會有問題嗎?

tommy01

問題三:主管說如果不共用的話會有STI 造成Vth不一樣?