何謂 field oxide、 gate oxide,、thin oxide，thick oxide

372412

在書上常見到  field oxide、 gate oxide,、thin oxide，thick oxide
但是真是讓這些名詞給搞亂了，不知道有何差別。所以想向網路上各位先進請教
5 `8 l/ y9 n* q不知是否有剖面圖 cross-section 可以參考，已方便做比較。
謝謝

小緯仔

基本上....field oxide = thick oxide 簡單的說就是OD之外的部分....
6 A0 ?1 o& F4 I6 S; y. b
gate oxide = thin oxide 長在poly 下層的 oxide....