Layout Design Rule Considerations：How to set up the Space of Rpoly？

CHIP321

Layout Design Rule Considerations：How to set up the Space of Rpoly？

用於製作電阻的POLY間距在LDR中通常要遠大于GATE POLY的間距？較大的間距會帶來什麽收益？是出於PR的考慮or Etch的要求呢？
若是基於精度控制，爲何GATE POLY不做此項有求？

Clemens71

goooooooooooooooooooooooooooooooood

MTK1019

1，FOX 比栅氧要厚，也就是 Etch的时候 接触面是要算立体的吧。FOX厚多少 宽度自然要加多少。
2，Rploy 是生长在场氧上（FOX），相对栅氧是不平整的。距离大“翘起”效应低一点。
# o8 {( B( J) c; T0 Z+ f' F个人的一点浅见，多多指教。