如何選擇ESD Device Contact Type？

sendow

這個問題也困擾我很久, 不知有前輩可以解答嗎?

7 ~' x1 V7 k: A  W. P個人經驗, 有些製程有效, 不過可能要考慮parasitic path,
有些製程則使用contact matrix即可, 還有要考慮processs能力,
4 k" W$ w0 |3 P9 X' c+ K. Q有些製程slit contact可能form不好, 造成ESD robustness unstable,
% X& k1 L( Y* O0 K( n1 u6 M  p這也是現實上要考量的.
7 m% g# e: \0 V  L- Z7 @3 s
# `+ r; I) ^6 t; h一般而言如要高效能ESD ability還是選用ESD circuit來保護比較safe
' ~  M# ^" z5 p5 L5 d不過有專利問題,這方面可能又要取捨了.