請問 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 的功用為何？

vic

各位大大您們好！
請問有人知道 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 在製程上的的功用為何呢？
9 K8 K1 D' R0 b謝謝！

despair

Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX)
! k8 ^, Z7 m- P- W+ p
不管前者或後者者都可以提供組成device的一個感應電極。
  V% f) A# F: @# m% a（如CMOS device or Field Oxide Device）
7 \% D8 U, g6 S% h6 v, k) e8 H
但前者較長使用在CMOS邏輯製程中MOS的Gate極點，而後者常用
" ]3 r. r( P7 x& s1 Q在device之間的絕緣使用。

vic

簡單明暸...
3 C& m$ R+ g8 o1 h謝謝大大的解答...
* d% X2 T7 {% l1 x$ ?1 ^1 f, }讓小弟受益良多...
. @6 ~6 j  i1 @感恩！

klim

那請問, 若使用FOX其MASK layer要增加嗎?