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Chip123 科技應用創新平台»論壇 › Chip1 -- 基礎元件 › Layout設計討論區 › 請問 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 的功用為何？ ...
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[問題求助] 請問 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 的功用為何？

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vic
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1#
發表於 2012-3-6 06:21:22 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
各位大大您們好！! y; W4 m& F9 s3 c. C+ }" F! J
請問有人知道 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 在製程上的的功用為何呢？/ u) A) U  K, R) G' h7 w; a
謝謝！
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despair
2#
發表於 2012-3-7 11:50:22 | 只看該作者
Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX)   G1 `4 {' ?0 P
$ E  }" z) _1 v  ~
不管前者或後者者都可以提供組成device的一個感應電極。( e4 k* l+ B; H* U# n4 J0 |
（如CMOS device or Field Oxide Device）
- |/ P3 l" H( ~5 J
' B) Q1 o7 E+ w( F* G0 @# @但前者較長使用在CMOS邏輯製程中MOS的Gate極點，而後者常用
7 p6 e) i, ?9 n+ m在device之間的絕緣使用。
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vic
3#
 樓主| 發表於 2012-3-8 15:00:15 | 只看該作者
簡單明暸...
; D+ V! m! }6 x4 r# Z) t$ y4 A謝謝大大的解答...
7 L& v+ D, Y7 U! m) N7 a/ G讓小弟受益良多...9 a% L( f$ C/ H( c1 P$ Q3 U: Q5 s
感恩！
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klim
4#
發表於 2012-4-20 12:29:58 | 只看該作者
那請問, 若使用FOX其MASK layer要增加嗎?
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