關於LAYOUT METAL的M1.Mx.My.Mz.Mr.Mu疑問

layoutarthur824

我在手冊上看到LAYOUT METAL的M1.Mx.My.Mz.Mr.Mu
1 X( e% k& j$ }0 ]M1好像是單指M1的話
我一直以為Mx是M2、My是M3、Mz是M4以此類推....
3 M' P! @1 o* ?可是好像不是這樣耶...
6 I0 Y+ ^2 q) c5 V0 Z; E$ ]+ ^可以請各位大大解惑一下那些層是什麼嗎??

chengchishun

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l690527

document
EX.
     28nm
3 M" x' l0 e6 H4 \  N' A/ I     1P6M5X2Z0T1F2U

veteran

請直接查看foundry提供的DRM document.裡頭會有描述。

bowbow99

在下也看不出那些層是什麼！
不知道那些層在手冊裡彼此是什麼關係！
+ {2 m' ^! v6 T( c; |, U0 v7 W- C: d
會不會其實是同一層,只是代表不同區塊（瞎猜的）