請教:如何在TSMC.18RF下連接DUMMY電容

yingzi07482

MIM电容做dummy，主要是考虑做用来形成的电容的层都是最后通过刻蚀来完成的，为了避免刻蚀上出现误差，所以需要做dummy，类似的像poly也是刻蚀形成的，所以在做差分对输入管的时候最好在对管的两边都加上poly dummy，poly dummy的宽度可以和对管的L不同，通常在比较靠近边缘的地方，刻蚀的时候速度会比较快，如果外面加上dummy的话，刻蚀速度快的是在刻蚀dummy，而不是实际我们需要的device
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