畫電阻時為何需要考慮邊緣與彎曲的地方？

Oo海闊天空oO

原帖由 woo240 於 2007-8-12 08:25 PM 發表
3 a( f% X# U# x7 ?小妹又來了。
這次我的問題是：
' s/ ?, j( m" j$ B! d! x' f# o1.當在畫電阻時會以contact來連接，以做成較大的電阻，聽說contact的邊緣與電阻也有關係，要考慮進去這是為什麼？
2.當電阻彎曲時，也會使電阻產生不確定的因素，why?(如下圖 ...

Q1:當contact連接到下層的metal時,會有接面電阻..因此要考慮的應該是contact到metal間的電阻
7 C7 e" w$ }: H     但因為要接contact, metal必須畫大一點..但是poly的電阻是以一口來作為計算的準則
     雖然電阻看起來是比較大,但是在L/W都一樣的情況下,poly電阻的大小都一樣大
7 D0 ^1 ~! X7 q" ~( h( F* a& w, B& A: b     例如: L/W=1/1和L/W=1.5/1.5時,兩個電阻都一樣大
% ]- c' D1 u) B7 h) w+ f+ |9 h     因此第一個contact接到metal,應該要考慮的是接面電阻
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Q2:在製程時,會有所謂的邊緣擴散~
. W! E  X6 _% l3 S     依照這樣轉角的電阻畫法,因為排列的不相同,
     所以擴散的情況也會不同.
     若是轉角擴散情況嚴重,造成上下兩條直線接在一起
2 X3 t" J8 x6 z     整體的電阻值會變得無法預測..(以一般.35製程來說...實際下線的電阻値與劃出來的電阻值約會下降10%)
! F; `, H: }8 P     因此通常在繪製電阻時,通常會採用串聯的方式..
     分別繪製相同大小阻值的電阻串聯起來~來達到想要的電阻
     這種作法,因為每一段電阻值都相同,因此可以假測變動的情況也會相同
1 E3 J' I  h* Y7 H) S     但是整體而言,因為一起變動,可以把電阻的變動直降到較低的情況
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; z7 [. r8 w3 c$ ^9 i9 f& E2 ]     這種轉角的電阻畫法,還有另一種缺點:
     因為電子會在轉角處聚集較多的電子,因此在轉角處會較易過熱
     容易造成electromigration,也就是所謂的電子遷移..
$ J8 y9 L  G/ G" ^; n) \; Q- A. Q     更簡單的來說,再轉角過熱的情況,該處的金屬容易因為過熱而斷掉或因為熱擴散造成電阻值變動
     
) Z( k9 J* Y7 Z& c     這兩個是轉角畫法較嚴重的問題
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另外是Q1.bending and edge effects是低電阻係數偏愛的
# X/ h7 M0 F( W/ s+ p( Q這個問題,以實際的製程來說,電阻畫的越小,在製程時造成的邊緣擴散效應較低
因此電阻值畫的越小,電阻值的變動越低
( E- P2 P: _% W3 \" i換句話說,用較小尺寸的電阻做串聯時,電阻的變動會較低