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經濟部技術處ITIS計畫王惠芳 " v. U* T- G2 v! `. c2 ?# A
一、前言8 n6 B) D$ O5 B9 f. G- E
光阻經由照射之後,會產生化學反應,再經由顯影(Developing)的製程將圖案定義在基材上,目前常用的顯影液為TMAH(Tetra methyl ammonium hydroxide) 氫氧化四甲基銨,化學式為(CH3)4NOH。經照射後因照射區與非照射區在顯影液中溶解度不同,顯影液可將易溶的部份溶解,而達顯影的目的,當光阻為正型時,照射區產生化學反應,主鍵斷鍵並發生極性變化,非照區則不易溶解於顯影液中,溶解速率可達十倍以上,負型光阻則是照射區產生交連,不易溶解於顯影液中,與正型光阻之反應相反。顯影液(Developer)為TMAH原液與超純水稀釋後所製成之產品,產品純度由TMAH原液以及超純水品質決定,為此超純水的製造以及TMAH原液製造方法的不同,將影響製品品質之純度,因此,目前的供應來源仍以國外技術來源居多。g-line、i-line以及DUV光阻所需的顯影液普遍是2.38%TMAH(統稱NMD-3),特殊需求會再做客製作的調整或是面板廠內部自行調整。' M( |8 G* Y; ]+ I5 D" V
二、日本與台灣IC顯影液需求
5 X) }: c; ]- |! j5 D$ ]2 F$ F日本國內主要是三大公司瓜分,東應化TOK、多摩化學以及日本德山Tokuyama各佔有三分之一的市場,提供給IC半導體用的數量為6000噸,市場約為日幣17億元,這三家供應商同時也是LCD顯影液的主要供應來源。4 {) C; g/ J( w3 g
供應給IC顯影劑的廠商也是以東應化TOK,多聯,日本德山Tokuyama為主,其中以TOK市佔率最高,佔有50%以上的市場。2006年顯影劑市場需求約有40000噸,市場值在12.1億左右,預估2007年隨著12吋晶圓擴廠,需求跟著上升,預估成長10%左右。
0 f& t! w$ s+ @7 C4 w1 ~, c5 u- y. f表一 2006年日本及台灣顯影劑的市場規模
( \1 A* I$ B: ~4 {4 Y- u4 ?8 x5 V區域 | 濃度基礎 | 需求量(噸) | 需求值 | 國內/國外供應商 | 日本
6 G1 w' S; l3 N | ~20% ' c0 K* v$ x- s5 {' O. q5 r
| 6000
2 l: H1 H( O q/ c1 t+ n) w | 日幣17億元 3 Z- I- o* h/ k% C2 z
| TOK,多摩,Tokuyama | 台灣
" L* ~# z9 f: ?- u! I: S% R' O | 10~25% 7 x/ \ b. E. T: g: ]5 q
| 40000
3 R% V/ q) h4 `8 t, I5 y+ k | 台幣13億元 " C" e9 T, J! K6 T5 j
| TOK,多聯,Tokuyama |
7 g. k" ]% h( m; e) S# n- W資料來源:富士經濟2007/03;工研院IEK2007/08
: a5 U2 `/ d/ `由於顯影液的需求量大,單位售價也較光阻低,競爭激烈,因此供應商考量成本以及直接供應國內面板廠,普遍皆在國內設立製造廠,或與本土業者合作生產。TOK與長春化學技術合作,生產化學品供應半導體及光電產業,多聯由三聯科技與日本多摩化學(TAMA)合資成立,跨國合作成立專業化學廠,日本德山Tokuyama則在台灣尚無技術合作夥伴。
. [, ~- f/ [( l$ y( o2 Z1 U f國內本土產業投入製作顯影液,一方面需投入高成本購買純化設備,另一方面須有自己的專利技術,再加上目前每公斤單價以相當低廉,須有足夠的資源及技術,再投入會比較合適些,最合適的策略就是與國外知名大廠進行技術合作,既有成熟技術為後盾也既有客源,屬WIN-WIN的合作模式。
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