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Unity-SC展示在砷化鎵基板上檢測非散射性潛在致命缺陷的獨有能力 ...

2019-7-19 04:45 PM| 發佈者: SophieWeng@G| 查看: 109| 評論: 0|來自: 美通社

摘要: 鑒於市場對於高品質、高可靠性的砷化鉀檢測系統的需求日益增加,Unity-SC與VCSE市場中的一家重要公司進行合作,透過分別出只有利用LIGHTsEE PSD™技術才能讓缺陷可見的晶圓,提升前者的良率,並且能透過系統性地抑制 ...
過去十年來,由於具有獨一無二的光學和電氣特性,並且具備生產線上測試,和可製造性上面的高度優勢,VCSEL在眾多領域吸引了越來越多的關注。大部分VCSEL基於紅光到紅外波長的砷化鎵晶圓,如今被廣泛地用於雷射雷達和3D識別技術。由於汽車領域的應用,雷射雷達市場現在迅速發展,對不會出現故障的設備的需求也同步迅速增長。3D感測也帶來了一個非常大的市場,智慧手機製造商現在為進行人臉識別而嵌入此類感測器。因此,對高品質、高可靠性的砷化鎵檢測系統的需求,一直都在增長。

除了常見的SSIS和AOI系統以外,在檢測其它方法所無法看見的表面形貌缺陷方面,UnitySC也展現了獨特能力。由於不會對光進行散射/吸收,而且只能透過其表面形貌情況進行識別,這些缺陷在標準光學檢測系統中不可見。雖然這些缺陷對基板本身的結構品質影響不大,但是它們卻能導致在流程後期讓設備出現故障。例如,在生產Bragg光柵反射器期間,這些表面形貌的缺陷能讓Bragg週期出錯,在某些特定情況下,還會出現應力誘導裂紋。這些故障會在製造過程中,或系統交付後,遇熱/遇壓時出現,導致整個系統出現故障。

借助被嵌入LIGHTsEE™系列中的Phase Shift Deflectometry(PSD)技術,能夠輕鬆地檢測出這些缺陷。PSD能夠提供高度靈敏度低於5奈米的整片非接觸式高輸送量解決方案。由於無需移動基板就能進行檢測,新技術不會產生應力,而且適用於任何脆弱的基板。

這種技術在一位主要VCSEL製造商上面進行了展示,並且能透過系統性地抑制由此類缺陷所影響的裸片問題,提升良率和降低設備故障率。因此,透過在未來的品質控制中使用PSD,VCSEL製造商能更進一步提升良率,改進供應鏈。

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