如何知道製程參數?

kminmin1

想請問各位大大我使用的製程是UMC18
% o/ e1 I2 K' v
要如何知道製程的參數?
! D9 _" l) u  V' [如:Va , λ ,uncox等等...
有試過手算，但發現同長度的PMOS在不同電流下(飽和區)，λ值卻不同
. Y% k) |1 ]6 x) Lro=1/gds
+ T; t( R% {  h; t8 S5 f/ ero=1/λ*idsat
λ=1/va*L

" s- ^+ K5 \5 ~. m% p例:
' u3 U" d! {6 T, ?PMOS(saturation)       PMOS(saturation)
0 D2 a( t, t, |- A1 p9 T3 }$ |W=25u L=0.5u            W=25u L=0.5u
% D* j2 ?6 z9 P0 `: k8 ?+ h7 Fid   -8.907e-05        -8.588e-05
gds   7.941e-06         5.289e-06
$ L% B/ p# g/ n9 h. h9 }+ j
算出後:
, y7 U$ M6 T- x6 j8 l6 f- q% Nλ   0.089               0.061
" z" n4 M  `* [* b! _: W. o0 c

看有些論文寫說λ是工藝給定的
$ X/ J" u" @+ D# [% [, A$ h+ r4 t( d哪一些製程參數是固定的?還是都是非固定呢?

+ s' z0 A4 T$ T; S  r. U" b

YMCK

沒有辦法知道一個確定的值吧
只能先用製程檔提供的初始值下去估計
' `, d# f0 p1 R3 a& x6 Y然後再看模擬跑出來的結果下去調整