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想請問各位大大我使用的製程是UMC187 n3 J0 z/ u4 |+ E3 h
3 x" y9 c1 v9 A+ ^* [4 J E要如何知道製程的參數?
) }* ^+ c; J' Z y1 ^! t如:Va , λ ,uncox等等...
g1 W3 W/ k; K% i$ n有試過手算,但發現同長度的PMOS在不同電流下(飽和區),λ值卻不同
4 a' s% w" T+ k+ s) Aro=1/gds
# l4 ~# z0 r8 u0 \9 U4 iro=1/λ*idsat$ n9 d, H6 y/ M/ M }; F' |
λ=1/va*L
9 I) M( i; q O; D5 k& c" u1 ~. f, P4 g" E. p8 t" u# B
例:' V9 _# n4 ~5 j. b6 h
PMOS(saturation) PMOS(saturation). k: M% I% S0 `! ]7 T$ W
W=25u L=0.5u W=25u L=0.5u
2 S/ u: C1 m! X" o" {3 Did -8.907e-05 -8.588e-05 ^# ]$ ?# m, ^7 \ J7 [
gds 7.941e-06 5.289e-066 G$ A s, s# g
' h1 {# _) ?+ Q: ^+ K. f' j9 f算出後:
. u! U( A8 e5 F) q8 j% |8 y9 @- U' fλ 0.089 0.061" {6 K+ i+ y; _% l& M( X
/ W+ Z, b z" O* k3 k
+ N5 V/ G9 C+ H! r. F$ {
看有些論文寫說λ是工藝給定的% u; r8 H$ \: c8 T7 s' @. z
哪一些製程參數是固定的?還是都是非固定呢?
0 S. j$ } @# m4 E4 y
( j+ N7 K4 P# @8 o# y* ^ |
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