在Al 工艺中一般都没有max metal density 的要求,而且max metal width的要求也比较宽松; 3 G* e2 L# j& I x- f. x+ K! A而在Cu工艺中一般都会有max metal density 的要求(比如80%),而且max metal width 也会比较严格一些.6 z- c# M7 c; S% n
这个在工艺上是怎么考虑的???* l2 D. h" U: D- ?8 q% J
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以上,谢谢.请求高手指点...