MOM電容佈法

r2583614

有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???

l690527

有 froundy  kit 就用
& e0 t( P; }$ D& d4 c" {- L畫的 每間蓋的layer 也不一樣
$ n# A: U0 b2 p  q; L廠建好的 製程try過比較沒問題

自己寫一個spice  model  容值抓抓看
  b3 b% J+ _6 O1 o: V
MOM 是tsmc的说法： metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap，
/ G! J: O8 q. B- Y* l4 \  C可能任何工艺都有这个cap，
2 n9 T! s; j* e6 J9 b2 E! t0 R" V
MIM ： metal insulator metal， 这个在Analog、RF工艺里面才有，用来做 高精度的cap，
) n/ e5 _" v& o5 u由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成，  logic工艺是不提供的，
MIM的2层metal 特别厚， 一般是下面的好几倍甚至是10几倍

beverly_tseng

回復 1# r2583614


    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
/ D& ^* v8 i$ S7 Q6 Q9 M    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.