MOM電容佈法

r2583614

有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???

l690527

有 froundy  kit 就用
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
, }0 ^  ?, `4 ~9 R' t+ ?/ C# y廠建好的 製程try過比較沒問題
3 R. y- S' _; I8 a4 o5 x3 p0 ?
& G7 {( s! Q" y, Q) a  a自己寫一個spice  model  容值抓抓看
, H* `+ m5 \: I  Z7 a7 R2 |& q
MOM 是tsmc的说法： metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap，
可能任何工艺都有这个cap，
/ W( |* u  Q% ^- Q- }! Y
MIM ： metal insulator metal， 这个在Analog、RF工艺里面才有，用来做 高精度的cap，
! s9 `3 T2 o( |% e由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成，  logic工艺是不提供的，
MIM的2层metal 特别厚， 一般是下面的好几倍甚至是10几倍

beverly_tseng

回復 1# r2583614


" {  e, C6 i, @8 _0 g    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.