請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)

vincent_p0593

請教 foundry fab 所謂 metal scheme x/y/z 意指??
一般所謂 1P5M 即一層poly (transistor gate, maybe WSix or salicide, maybe single poly or dual poly), 五層金屬層(M1~M5, M5 thick)
6 k4 E' x- x9 A4 DX/Y/Z??

yytseng

回復 2# vincent_p0593
# L1 f3 E" C( N, I
5x2y2z = 1p10M
$ P! B0 J2 Q# H6 y9 F& Q% U+ X
台積的metal定義中
M1 為預設 寬度厚度不得更改 其他客戶可根據自己需要選擇要出幾層metal 光罩..但是最上層必須要厚的....
) |' m" v- V- |- R% EM2以上為 X 代表一倍厚度
M5 以上可用 Y (兩倍厚度) 或是 YZ ,或是 Z(四倍厚度)
8 X7 E$ w. ^6 o, F! L2 v; Z" C8 C! S
& _6 Z2 A  c3 p, z2 c) {不同的 metal 組合,有不同的 min pitch 以及對應的 RC 當然 DRC rule 也不同
3 O7 t$ D$ H) R  t! s
1p10m5x2y2z 代表 m2~m6為 X, m7,m8 為Y ; m9,m10為Z 如果有RDL (flip chip package bump route) 則還多一層 AP (鋁)
詳細的說明拿到台積的kits都有,客戶必須要透過正式管道才能拿到

vincent_p0593

自解 : 昨天 t 朋友打電話來順便求解
7 s9 H' l, Y* j5 z* V5x2y2z 表示九層metal, M1~M5 用厚度1(薄), M6~M7用厚度2, M8~M9用厚度3(厚)
. c- |, |# U5 z# H每個process node各有其定義的厚度給x,y,z

目前的了解,...歡迎補充.

vincent_p0593

了解所述, 感謝!
: `8 D, Q4 a" j1 V5 _如果metal只有4層 這樣是否合規定 : 1p4m2x1y?
8 T/ n8 }# W/ b% z/ H5 A/ cYZ 代表三倍厚度? or customize 2~4倍
Y, YZ, Z都可當top metal?

' _5 t( G3 D) M3 U2 V3 YThanks in advance.

cmyangf

要看哪一個process ~~ 有些有提供Ｙ當top metal 的. 要把design rule翻出來看.

AnnLin

原來如此, 長知識了! 感謝!

lowstar

Wow
I think this is an important item for engineers work in foundry and IC Design house.


0 C% i6 x+ n% Y' Y# q9 T/ ~

charlie0050

解了我心中的疑惑 謝謝大大
. D- E& H3 b, W