請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)

vincent_p0593

請教 foundry fab 所謂 metal scheme x/y/z 意指??
5 h# q1 w1 p9 r6 L一般所謂 1P5M 即一層poly (transistor gate, maybe WSix or salicide, maybe single poly or dual poly), 五層金屬層(M1~M5, M5 thick)
& p. s, H) s: N, Y3 x: M9 XX/Y/Z??

yytseng

回復 2# vincent_p0593

* R$ H& ~" P9 o6 o! o% R5x2y2z = 1p10M
, x+ H& a7 ?4 c8 K* I3 _
台積的metal定義中
$ B( h& y9 `$ C1 h# @+ M; BM1 為預設 寬度厚度不得更改 其他客戶可根據自己需要選擇要出幾層metal 光罩..但是最上層必須要厚的....
M2以上為 X 代表一倍厚度
* u8 G; r1 A1 Q4 G% w' c1 E8 L5 h! wM5 以上可用 Y (兩倍厚度) 或是 YZ ,或是 Z(四倍厚度)
, L0 \4 q. i0 |9 e; y
' L4 I2 o/ B  t/ c1 C6 ~- Z, b不同的 metal 組合,有不同的 min pitch 以及對應的 RC 當然 DRC rule 也不同

# S6 U  j6 ?) [. x1p10m5x2y2z 代表 m2~m6為 X, m7,m8 為Y ; m9,m10為Z 如果有RDL (flip chip package bump route) 則還多一層 AP (鋁)
& `/ E& m# T5 V1 z詳細的說明拿到台積的kits都有,客戶必須要透過正式管道才能拿到

vincent_p0593

自解 : 昨天 t 朋友打電話來順便求解
5x2y2z 表示九層metal, M1~M5 用厚度1(薄), M6~M7用厚度2, M8~M9用厚度3(厚)
每個process node各有其定義的厚度給x,y,z

1 J/ v. C# n0 ~" ]目前的了解,...歡迎補充.

vincent_p0593

了解所述, 感謝!
如果metal只有4層 這樣是否合規定 : 1p4m2x1y?
" C/ v8 ]" @+ I5 A" c9 j* n# oYZ 代表三倍厚度? or customize 2~4倍
Y, YZ, Z都可當top metal?

7 J" @3 k, f* y# xThanks in advance.

cmyangf

要看哪一個process ~~ 有些有提供Ｙ當top metal 的. 要把design rule翻出來看.

AnnLin

原來如此, 長知識了! 感謝!

lowstar

Wow
I think this is an important item for engineers work in foundry and IC Design house.

' I0 k/ \& _/ a- L  G
" g) h1 `% @  r# |

charlie0050

解了我心中的疑惑 謝謝大大