要怎麼設計interdigital(指插型) capacitor ?) h7 h) ^% G; X7 l( h. M
我找到一個公式,代進去和模擬出來有2pF的誤差,# C' J, N E. e8 O( y u8 |! O
模擬的電容值我是看1MHz那一點的電容值為準!5 h' _' }8 Z0 S2 K5 s
1 M# T9 X; A/ U$ Q+ t/ b8 m有沒有任何更好的interdigital capaictor reference可以study ! 6 S' A5 m; O, F' m/ t1 pthanks all
建議你在使用公式計算時,一定要參考製程廠所提供的design rule來計算 : P8 r b7 x3 S因為若是用metal to metal的寄生電容,每一家的製程廠的metal的寄生電容都不一樣,而且不同層的metal to metal也不一樣% i/ {5 ^" @" q( v! [
若沒有參考design rule,所計算出來的寄生電容的差距會頗大的4 X+ P" M% y, P. _. y3 h
而且,還要考慮到mask誤差的問題2 u# q% ] t4 Y2 r! X8 ~& i7 y3 b
另外,若很疑惑所計算出來的寄生電容值,建議你可以先用layout畫一個metal to metal 電容的cell,然後再抽LPE,看看所計算出來的寄生電容和筆算的誤差有多少,如此一來可以更精確地知道差距
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發表於 2007-9-20 00:24:06
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發表於 2008-5-27 12:53:43
