請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)

vincent_p0593

請教 foundry fab 所謂 metal scheme x/y/z 意指??
一般所謂 1P5M 即一層poly (transistor gate, maybe WSix or salicide, maybe single poly or dual poly), 五層金屬層(M1~M5, M5 thick)
9 A) s9 ~! E( kX/Y/Z??

yytseng

回復 2# vincent_p0593

& D4 t- ]+ x, g+ @& z( g6 g5x2y2z = 1p10M

+ E* t! L+ Q$ u- {台積的metal定義中
, T# E# ~; i+ LM1 為預設 寬度厚度不得更改 其他客戶可根據自己需要選擇要出幾層metal 光罩..但是最上層必須要厚的....
( H) K  W+ p' d& K2 ^' y9 A! p& SM2以上為 X 代表一倍厚度
* _; t9 [$ q" L% A) ^M5 以上可用 Y (兩倍厚度) 或是 YZ ,或是 Z(四倍厚度)
& Z; \. L' ^( a" X
' |! o, G# g+ `9 V" r不同的 metal 組合,有不同的 min pitch 以及對應的 RC 當然 DRC rule 也不同

& R/ j5 F8 {- G* {1p10m5x2y2z 代表 m2~m6為 X, m7,m8 為Y ; m9,m10為Z 如果有RDL (flip chip package bump route) 則還多一層 AP (鋁)
詳細的說明拿到台積的kits都有,客戶必須要透過正式管道才能拿到

charlie0050

解了我心中的疑惑 謝謝大大

lowstar

Wow
/ |4 ]9 S: O: q, P. F. V: |I think this is an important item for engineers work in foundry and IC Design house.


1 M1 B  x% Z3 E0 q1 a$ t$ Z: K- [

AnnLin

原來如此, 長知識了! 感謝!

cmyangf

要看哪一個process ~~ 有些有提供Ｙ當top metal 的. 要把design rule翻出來看.

vincent_p0593

了解所述, 感謝!
% X' f4 i5 `5 Y. c, K如果metal只有4層 這樣是否合規定 : 1p4m2x1y?
% W' ~! J5 K: l: G1 qYZ 代表三倍厚度? or customize 2~4倍
Y, YZ, Z都可當top metal?

Thanks in advance.

vincent_p0593

自解 : 昨天 t 朋友打電話來順便求解
5x2y2z 表示九層metal, M1~M5 用厚度1(薄), M6~M7用厚度2, M8~M9用厚度3(厚)
每個process node各有其定義的厚度給x,y,z
: m+ e: O, ~( |' n* k
# D# T' H( m/ a( [5 d' i) n9 r目前的了解,...歡迎補充.