請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)

vincent_p0593

請教 foundry fab 所謂 metal scheme x/y/z 意指??
一般所謂 1P5M 即一層poly (transistor gate, maybe WSix or salicide, maybe single poly or dual poly), 五層金屬層(M1~M5, M5 thick)
# `5 f& M) ?* O- u5 ^X/Y/Z??

vincent_p0593

自解 : 昨天 t 朋友打電話來順便求解
5x2y2z 表示九層metal, M1~M5 用厚度1(薄), M6~M7用厚度2, M8~M9用厚度3(厚)
3 D4 m* d- i* F& |; Q2 U0 y- V每個process node各有其定義的厚度給x,y,z
6 Z% e3 [( E3 J
1 q! J" W3 G, i4 `7 o; J+ B+ P目前的了解,...歡迎補充.

vincent_p0593

了解所述, 感謝!
如果metal只有4層 這樣是否合規定 : 1p4m2x1y?
1 |5 W- G' J' L, d; CYZ 代表三倍厚度? or customize 2~4倍
Y, YZ, Z都可當top metal?

Thanks in advance.