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[問題求助] 新製程,technology file該如何編寫?

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1#
發表於 2011-10-11 20:48:10 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
各位前輩想請教關於offgrid的問題,! l9 X! d1 U2 b5 L* k
小弟目前剛接一個project,9 h7 L8 ^' ~- Z
手邊資料有- c: E& C7 D* `7 m; `
(1). design rule,裡面layer層min grid->0.005) t& _5 n5 a  E& \# S
(2). drc command file, precision:1  resolution:1000
) ]' r! E: I& F2 P1 p9 l7 E0 O
. E( H1 k2 Y0 b因為手邊無technology file,所以需自己編寫,) M, G! z1 W1 k/ K
但在technology file裡有,  dbscale
& t4 M$ r, u  \                                      dbresolution
0 c- s5 y" s; E: q3 s& w, Q7 e                                      xgridspacing1 @+ Y, N. K2 I1 Y
                                      ygridspacing; N, R" u* C  [& p$ |$ e
                                      majorgridration: [0 E* B0 w: d" p6 o
' b0 @. Y5 M) U2 K% Z  b3 i
上述指令分別代表什麼意思呢?
) T& r+ D1 G: T" L, Z' K" N- O6 @% A% K# B
我一開始是2 o4 \. J" X. u% b
      dbscale          0.001$ P- W- m# B; s; w
         dbresolution  0.001
- w& p- s: m6 H2 n6 C: N* I4 |         xgridspacing  0.001* l/ k* h5 z" P$ P
         ygridspacing  0.001
/ T3 l  h- x; h# B2 V3 q( X9 {         majorgridration 55 E; A0 ]! m& ], Z5 A
但會有offgrid error,是我那裡搞錯了嗎?
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2#
發表於 2011-10-17 14:20:16 | 只看該作者
改成4 {) j9 \- h5 ~8 ~) [9 e+ {
dbscale          0.001* C  }/ C) Z. R! Y4 F. ?
         dbresolution  0.005
) i; O9 u* Y* c$ R9 i' _$ L: q         xgridspacing  0.005
3 k+ A; o7 U: I         ygridspacing  0.005" U' b7 v2 V7 M9 w7 r
         majorgridration 5
% M+ v: s. x8 j3 ?8 m試試
3#
發表於 2011-12-2 11:06:29 | 只看該作者
dbscale 尺標最小單位 通常是0.0019 Z8 J; R) S' ^
dbresolution  游標可移動最小距離 通常是0.005  較低階的製程會用0.01
/ A/ T9 ^9 u% F8 L# }: X; _xgridspacing  圖上兩個小點的水平距離% [9 ^) E: n4 Y5 T  n2 w
ygridspacing  圖上兩個小點的垂直距離' ?& o( c; Q0 ~! E4 N4 N
majorgridration  幾個小點會做一個大的點 通常是5
' y* M  ~* m- b" n9 k
0 e" b) _7 Y/ m/ |如果會有off grid  Y  b; ]" J! g2 S
就是因為你的可移動距離設的太小
2 g; O( U- _0 o. T- U0 s小於drc command file的設定
+ H- [! c1 d  I# {4 L9 ?有兩個選擇
8 S, {, J0 V6 c! P3 u8 D$ d將tf的dbresolution調大
- u/ L3 @$ u+ z% M或是將drc command file的設定調小
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