各位前輩大家好: / j- U# ~$ ^$ y6 m小弟最近在使用UMC 0.18製程準備下線,7 i9 y" l) c8 C; X* L
在跑DRC時卻一直出現以下的錯誤, & V, X* A) i8 q$ f2 F# j C; ]4.1M --> Minimum DIFFUSION density over 500um x 500 um areas is 20% in % moved in 250um increments across the chip.. |+ p) j1 [: k+ m( E1 i2 w' [
將此錯誤highlight起來後,發現是M7發生錯誤,原先佈局設計是將M1利用M7保護,M1尺寸比M7還要小,2 ~8 Z4 A t( r6 @2 a1 \. h
在佈局時都有依照design rule來進行佈局,一直無法將此錯誤排除, 4 G) h {8 U+ L" @2 m想請問各位前輩以上錯誤是因為什麼所造成的?