MOM電容佈法

r2583614

有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???

l690527

有 froundy  kit 就用
0 j) L6 d- N9 H9 l* n( h畫的 每間蓋的layer 也不一樣
% R6 T) Z' T8 e$ i廠建好的 製程try過比較沒問題
, _% ?3 s8 L4 D7 ^2 Y, r
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
, u* z: S  w% i2 F5 }7 U
  S1 H5 Q9 q0 G/ }MOM 是tsmc的说法： metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap，
/ h5 r! S6 l0 _$ l. \) x可能任何工艺都有这个cap，
" I( S( m' d! b: `& j  ~
MIM ： metal insulator metal， 这个在Analog、RF工艺里面才有，用来做 高精度的cap，
$ S- D+ L/ f, j1 G, ~* D' k2 s由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成，  logic工艺是不提供的，
$ i4 k. P, l& P( W6 q' _MIM的2层metal 特别厚， 一般是下面的好几倍甚至是10几倍

beverly_tseng

回復 1# r2583614
1 V! w5 h0 N' Z9 u1 N. c, `
- q2 z, L1 J  _; l
2 l2 P8 n) q- Q0 ~5 X    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.