如何知道製程參數?

kminmin1 · 發表於 2022-7-7 15:03:03

想請問各位大大我使用的製程是UMC18# w5 ~7 l: s# @6 c6 w, t

/ k' o- [6 p" r7 n+ s要如何知道製程的參數?) }% x' D" ]. K  h3 O+ i* Z2 m
如:Va , λ ,uncox等等...+ }7 V4 E* |1 e: R, C
有試過手算，但發現同長度的PMOS在不同電流下(飽和區)，λ值卻不同6 y3 v  J1 q  |) @2 W) e
ro=1/gds
, G: K" Q: d3 [4 |! |' o8 Lro=1/λ*idsat9 l+ m3 x# `# n! J6 v
λ=1/va*L
; r. L1 g! T7 W8 O) ~" s; U* f. f8 M9 F+ f0 D) M- b. R+ A# \
例:2 F+ B$ d, {3 i7 W+ k. H
PMOS(saturation)    PMOS(saturation)5 `; c+ I" f# h" l+ N" H  M3 r
W=25u L=0.5u          W=25u L=0.5u1 F& ]2 {! Q, {# d5 D. T
id -8.907e-05       -8.588e-05
) s" W- Z  ^* ygds 7.941e-06       5.289e-06; S" W: @4 E; E! |/ J! b- u7 M/ y* g

( Y& f, |: d: w1 {/ R算出後:' _# c; I" d2 y2 F# o& x6 O! t
λ 0.089             0.0611 L- t  C: J: R- H; ]1 y) `

: t7 t( D8 n4 _! ?& m4 S* m; l3 K- P" R+ J$ E
看有些論文寫說λ是工藝給定的4 f8 M% _" f0 O3 H# Y7 {
哪一些製程參數是固定的?還是都是非固定呢?
' u2 b- J- E' p; o" J7 V

YMCK · 發表於 2022-7-7 18:19:35

沒有辦法知道一個確定的值吧
只能先用製程檔提供的初始值下去估計
然後再看模擬跑出來的結果下去調整

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