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[問題求助] tsmc 0.18 BCD process 認不到 w/o salicide電阻

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1#
發表於 2023-10-6 00:00:20 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
本帖最後由 weilun_1016 於 2023-10-6 12:29 AM 編輯 6 M6 C4 E, p3 u; S, g% c2 X2 m2 \" P

. U! ~! a; Z$ d: H) @各位前輩好' g7 [8 W& p5 p* b. K+ b6 J

' k& h$ }1 o& m9 n/ F  p小弟最近在畫layout碰到一個問題,遲遲無法解決,因此想上來詢問各位前輩的意見
/ {5 ?3 K$ ]: U& `4 a: v
% a/ M4 @& o8 _) o: C  v小弟用的製程是 TSMC 0.18UM CMOS HV MIXED SIGNAL BASED BCD GEN2 SALICIDE4 z0 T: y% H& X! Y( Y

( s0 H3 V2 ^6 k' Z3 [9 h' V. K在畫layout時有使用到 P+ Poly resistor w/o Silicide的電阻,而且都是直接用tsmc他們的PCELL
: s) Z. s/ u& J  [0 w# G3 P
% o: `" V5 B/ W7 v但跑LVS時,layout轉出來的netlist檔卻沒有這個電阻,所以一直有missing instance的情況
9 w# O5 x( }& }  x6 X' N  R0 d+ z4 d, l3 q! p' q

, l) r$ B4 ?3 o7 D. B" f( h以下有幾點我有先確認過,因此才推測是不是layout認不到w/o Silicide類型的電阻:3 r% q# U# c, R9 f

" p/ v2 s; n( c+ h- @0 }" ^6 }1.用w/o Silicide的電阻時,跑LVS時,layout端會有missing instance的情況;一旦改成w/i Silicide的電阻時,LVS即可通過→排除接線問題
% E/ b! L! Q+ k: w$ x# |* c, J1 S) d  I1 S
2.在layout中將所有PCELL內所有w/o Silicide的電阻叫出來,跑LVS時,layout端都不會有Unmatched的元件( @( X9 D: o3 y* D% b: q& L7 x# M

9 `6 F, c* \( _% w% T' }* t! M( @我也有去看LVS Rule的檔案,知道這兩種電阻只差在有沒有RPO Layer (Non-salicide OD Area Definition),也確認PCELL內都包含了應該有的Layer; Y/ V! [# K8 G/ a% g

/ f# _8 \4 m9 `
5 N; C9 z9 y3 z' r# E9 n4 v3 L; E
若是自己按照LVS Rule定義的layer去畫電阻,就會變成在還沒覆蓋RPO Layer時,layout認的到它是w/i Silicide的電阻[PS],8 }7 L' V) X/ I% N% m

6 y, e7 t0 @% q. A. j) D, P一旦在原有w/i Silicide的電阻覆蓋RPO Layer,就missing instance了。
& U2 k2 o8 Z4 y0 e8 v
4 A% Y# N& V) l+ R4 N1 |, C' U( U請各位有經驗的前輩能提點一下小弟,要怎麼解決這個問題,已經被困了好幾天了
3 y! M+ q( ?2 O3 i: S  K7 f3 |- c) C) I. R9 G0 S  T
! i% T& Y/ K- l% G- f6 I3 N
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